Occasion ASML AT-850C #9404356 à vendre en France
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ID: 9404356
System, 8"-12"
SMIF / FOUP
CYMER ELS 7600 Laser
AOM Laser
Excimer laser
LMA Module
Bottom module
MCM (Machine Cabinet Module)
Reticle, 6"
Left in-line
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
Charcoal filter
Side channel blower
Air Control Cabinet (ACC)
(2) Covering panels
Frame parts: MB, Mcab, RH WH
Process module:
Composition / Type
PM1 / Light source
PM2 / Alignment
PM3 / Stage
Cabinet:
MDC
LCWC
MCWC
Exhaust cabinet
Spare parts included
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Operating system: UNIX
2004 vintage.
ASML AT-850C est un pas utilisé pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs. Il peut produire une variété de dispositifs, tels que des circuits intégrés et des dispositifs à mémoire. ASML AT850C est un pas avancé avec une grande ouverture, haute résolution et un haut débit. Il s'agit d'un stepper I-line et peut également être utilisé avec la lithographie KrF. AT:850C combine une conception d'objectif très précise et un équipement avancé d'alignement multi-axes qui permet aux utilisateurs d'obtenir une haute résolution et un alignement précis des dimensions critiques (CD) pour la fabrication des appareils. La machine a également une longue profondeur de focalisation (DOF) qui permet l'imagerie de toutes les couches d'un dispositif avec un minimum d'erreurs d'inclinaison. Cela rend ASML AT:850C adapté à la production de dispositifs à haute performance avec un taux de rendement élevé. AT-850C est un pas de vide à haute température, qui permet aux utilisateurs de faire fonctionner la machine dans un environnement stable, avec un bon contrôle du processus, donnant aux utilisateurs une performance d'imagerie cohérente. Il est également équipé d'un système de gestion du faisceau lumineux très uniforme, qui est nécessaire pour les performances de lithographie et la précision de l'exposition. ASML AT 850C dispose d'une suite logicielle complète qui aide les utilisateurs dans l'alignement et l'exposition automatisés, ainsi que la gestion des données. Cela permet aux utilisateurs de s'adapter rapidement et avec précision à l'environnement changeant de la plaquette, optimisant à la fois le débit et le rendement du dispositif. La machine dispose également d'une unité d'exposition multimode qui maximise le débit, assurant une exposition aussi rapide et précise que possible des appareils. AT 850C est un outil puissant pour la fabrication d'appareils. Sa grande ouverture, sa haute résolution et son débit élevé le rendent idéal pour la production de dispositifs de haute performance. Sa machine d'alignement multi-axes et sa suite logicielle offrent aux utilisateurs un contrôle détaillé de l'exposition des appareils, garantissant des rendements élevés et des images précises des appareils.
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