Occasion ASML AT-850D #293597577 à vendre en France

ASML AT-850D est un équipement d'alignement de 4 axes pour la lithographie optique. Il s'agit d'un système entièrement automatisé de lithographie par immersion en ultraviolet profond (DUV) 157nm conçu pour produire des produits en circuit intégré (IC). L'unité est conçue pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs de pointe en fournissant le meilleur contrôle des processus et le meilleur coût de possession. Ce stepper a un excellent débit et des performances, des caractéristiques inestimables pour les lithographes de production. ASML AT850D possède de nombreuses fonctionnalités qui offrent des performances optimales. Il est équipé d'une grande surface de travail, ce qui facilite l'alignement des plaquettes et le déplacement des substrats. Il est équipé d'une suite logicielle avancée qui fournit une reconnaissance avancée des motifs et des opérations lithographiques. De plus, la fonction step-and-repeat permet une réplication rapide des motifs, accélérant considérablement le processus de lithographie. AT 850D dispose d'une machine à quatre axes unique qui est construite avec une table mobile de précision couplée à un outil de métrologie CCD XY. Cet actif de métrologie CCD XY est utilisé pour la mesure de superposition et l'inspection des défauts. Grâce à sa haute précision de navigation et d'alignement des lentilles, le stepper peut décaler avec précision les coordonnées entre différents champs de motifs sans avoir à réaligner ou à brûler à nouveau la plaquette. Cette caractéristique contribue à améliorer l'uniformité des plaquettes, qui est essentielle dans les processus de fabrication des semi-conducteurs. AT-850D dispose d'un modèle intégré de serrure sous vide, qui fournit une interface automatisée et sécurisée entre un robot de transfert de plaquettes et le stepper, entièrement intégré dans le flux de travail de lithographie ASML. Il dispose également d'un équipement de correction d'aberration haute pression (HIPAC), qui aide à réduire les distorsions optiques, permettant de modeler de haute précision même sur de petites fonctionnalités. ASML AT 850D offre également de multiples options d'adaptation et de contrôle des processus, grâce à sa gamme polyvalente de logiciels. Par exemple, il a des capacités de simulation lithographique avancées, de sorte que les ingénieurs de processus peuvent simuler des expositions pour déterminer des paramètres optimaux. Il permet également le partage de données en temps réel entre le stepper et les outils de processus associés. Dans l'ensemble, AT 850 D est un pas de plaquette fiable et performant qui permet une lithographie de pointe pour la fabrication d'IC. Ses nombreuses fonctionnalités permettent de produire et de gérer la lithographie optique rapidement, en toute sécurité et avec précision. Pour ces raisons, et bien d'autres encore, ASML AT 850 D est une machine de grande confiance pour la lithographie dans l'industrie des semi-conducteurs.