Occasion ASML AT400S #293638713 à vendre en France
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ID: 293638713
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
i-Line scanner, 12", parts system
Wavelength: 365 nm
(2) XCWC
Racks:
MCWC
LCWC
MDC
AA LMA
Airmount
AA
CT
MO
MI
IPDR
RH
PFU
RS
WS
MO
MI
WH
RS Balance mass
RS Long stoke-Y
WS Short stroke-Z
RS Short stroke-XZ
WS E-side long stroke
WS Balance mass
WS Short stroke horizontal
Bottom module
2001 vintage.
ASML AT400S Wafer Stepper est un dispositif utilisé pour transférer des motifs sur des plaquettes semi-conductrices. C'est un outil très précis qui est capable de modeler précisément le circuit sur un masque photo sur la plaquette. AT400S Wafer Stepper est composé d'un étage, d'une tête optique et d'un contrôleur de système. L'étage a la capacité de déplacer la plaquette le long des axes x et y, avec un niveau de précision allant jusqu'à 0,25 microns. En outre, l'étage dispose d'un élément chauffant intégré et d'une plaque thermique qui peut réguler la température de la plaquette. Cela garantit la production de produits de haute qualité. La tête optique contient un système de lentille de réduction qui aligne le faisceau du masque à la plaquette. Il utilise un masque de type Rh pour générer la lumière pour la gravure des plaquettes. Le faisceau est précisément aligné sur la surface de la plaquette de sorte que le motif est transféré avec précision sans distorsion. Le contrôleur de système est au cœur de la machine. Il est chargé de surveiller et de contrôler les différentes parties de la machine (y compris l'étage, la tête optique, l'intensité et la focalisation du faisceau, et le temps d'exposition). Il mémorise également les paramètres nécessaires de chaque circuit, afin que la machine puisse tracer avec précision chaque plaquette. ASML AT400S Wafer Stepper est spécifiquement conçu pour fournir le plus haut degré de précision et de précision dans le transfert du motif à la plaquette. C'est un outil fiable et facile à utiliser qui minimise le risque d'erreurs et peut garantir un produit fini qui répond aux normes les plus élevées.
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