Occasion ASML FLOW SUB B/D #9292389 à vendre en France

ASML Flow Sub B/D est un équipement de nivellement des plaquettes conçu pour contrôler en temps réel la longueur de trajet des plaquettes et leur planéité. Il est capable de mesurer, d'ajuster et de compenser avec précision les variations de géométrie et de qualité de surface des bandes de plaquettes. Le système dispose d'une unité de commande mécanique et électronique sophistiquée pour fournir le plus haut niveau de précision et de répétabilité dans la résolution de la géométrie et de la planéité du ruban de plaquette. La machine utilise un outil de balayage biplan avancé pour assurer des mesures optimales de la longueur de trajet et de la planéité. Un plan est dédié à la vue d'ensemble de la surface de la plaquette, tandis que l'autre plan est dédié à la profondeur de la surface. L'analyse d'ensemble permet à l'utilisateur de détecter et de mesurer de grandes irrégularités sur toute la surface de la plaquette ainsi que des caractéristiques de niveau profond. Grâce à ce procédé, l'utilisateur est en mesure de détecter et de mesurer diverses caractéristiques électriques et/ou optiques sur la plaquette. Le balayage en profondeur fournit des mesures plus détaillées des caractéristiques à plus petite échelle, donnant aux utilisateurs une meilleure compréhension de la surface de la plaquette. L'actif comprend un modèle de mouvement 4 axes qui est capable de manipuler de grandes tailles de plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre. L'équipement comprend également 4 servomoteurs linéaires pour assurer un contrôle précis et lisse du mouvement de la plaquette. De plus, le système comprend une unité de commande de mouvement de 9 axes qui est conçue pour aligner précisément la trajectoire du ruban sur la géométrie exacte du ruban de plaquette. Pour assurer la plus grande précision de la machine, le Flow Sub B/D comprend un certain nombre de capteurs optiques avancés d'alignement avec projecteurs laser de lumière. Cela garantit que les tolérances de l'outil sont maintenues dans un niveau élevé de précision. Il permet également à l'utilisateur de suivre les performances des bandes de wafer pendant les longues séries de production et les exigences de maintenance prédictive. L'actif comprend également un modèle de codeur magnétique qui permet la reconnaissance faciale de la plaquette et l'enregistrement d'orientation. Cet équipement de reconnaissance faciale permet au système de déterminer avec précision l'orientation de la plaquette et de s'assurer que la bande de plaquette est bien alignée. Le Flow Sub B/D est conçu pour être un outil efficace, fiable et précis pour les planeurs de plaquettes. Avec ses fonctionnalités avancées et son unité de commande précise, ASML Flow Sub B/D est capable de mesurer, régler et compenser avec précision les variations de géométrie et de planéité des bandes de plaquettes.