Occasion ASML NXT 1950Ai #9280821 à vendre en France
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Vendu
ID: 9280821
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
ARF Scanner, 12"
Process: Lithography
CIM: SECS, GEM Inform pro
Hardware configuration: (Fab)
Main system
FOUP
Options:
ART RH Interface
IRL XP
TOP RC 1 & 2
Aux exhaust unit
CYMER Laser
Flex ray
Base liner focus / OL / HOPC
Smash XY
Agile 1
Spotless
Aux load port
Focus improvement package
PEP High dose
Hardware configuration: (Sub fab / Auxiliary units)
CYMER XLR 660 Laser
2012 vintage.
ASML NXT 1950Ai est un pas de plaquette de pointe d'ASML, l'un des principaux innovateurs dans la technologie de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement est le dernier ajout à la série de produits ASML NXT, avec une précision, une polyvalence et une évolutivité inégalées pour un large éventail de besoins de traitement des plaquettes. NXT 1950Ai est équipé d'une optique de projection lithographique avancée, composée de composants laser ultra-courts, entièrement stabilisés et d'un monochromateur quatre fois. Ceci garantit une grande précision et répétabilité pour des motifs de projection très complexes qui sont essentiels pour la lithographie de plaquettes moderne. La lentille de projection est également équipée d'un nouveau système de correction d'aberration pour la plus haute qualité d'imagerie disponible. La machine dispose d'une unité de mouvement complexe avec quatre axes permettant au pas de se déplacer avec précision et rapidement autour de la plaquette. Ceci permet un alignement précis de la plaquette sur l'optique de projection, ainsi qu'un réglage du foyer de la lentille sur la surface de la plaquette. ASML NXT 1950Ai est capable de résoudre des tailles de fonctionnalités jusqu'à 65 nanomètres, bien en deçà des exigences de la production de plaquettes semi-conductrices la plus avancée. Ceci est rendu possible par la forte intensité de la source laser qui permet une transmission rapide du faisceau à la plaquette. Il offre également des temps d'exposition prolongés lorsque nécessaire pour des fonctions de lithographie plus fines. En outre, la machine dispose d'une machine d'alignement automatisé permettant un alignement facile et précis de la plaquette. Lors de la fabrication de plaquettes de dimensions réduites, NXT 1950Ai peut également être utilisé pour des processus d'écriture directe haute résolution (HRDW). Ces procédés permettent d'écrire directement la plaquette afin de réduire les coûts lithographiques. Enfin, ASML NXT 1950Ai est conçu pour une disponibilité et une productivité maximales. Il est équipé d'un outil de refroidissement de grande capacité et d'une isolation vibratoire avancée pour un fonctionnement régulier et fiable. En outre, tous les composants sont extrêmement faciles d'accès et de dépannage, assurant un minimum de temps et de coûts pour l'entretien régulier. En conclusion, NXT 1950Ai est à la pointe de la technologie des gradins et est un outil puissant pour la production de semi-conducteurs. Il offre le plus haut niveau de précision et de précision pour une large gamme de processus de lithographie de plaquettes ainsi que des capacités d'écriture directe pour la production de dispositifs semi-conducteurs de dimension plus fine. En outre, sa conception robuste assure un fonctionnement fiable et des coûts de maintenance minimes.
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