Occasion ASML NXT-AI #9304318 à vendre en France
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ASML NXT-AI est un pas de plaquette qui permet de modeler avec une grande précision les surfaces des plaquettes semi-conductrices. Cette machine est un marchepied, c'est-à-dire qu'elle utilise un procédé étape-répétition pour déposer un matériau de résistance pour modeler la surface de la plaquette, par opposition à un balayage complet de chaque plaquette, comme c'est le cas avec un équipement d'exposition. La machine se compose de quatre composants principaux : un système de distribution de substrat, une unité d'exposition laser, une machine de cuisson post-exposition (PEB) et un outil d'inspection/nettoyage/séchage. L'actif de délivrance du substrat dépose la plaquette sur un plateau tournant qui est ensuite envoyé au scanner optique. Le scanner utilise l'énergie du laser pour créer le motif sur la surface de la plaquette en exposant le matériau de résistance. Le modèle PEB est utilisé pour aider la forme du modèle en faisant cuire la résistance. Une fois le modèle créé, l'équipement d'inspection est utilisé pour inspecter la plaquette pour déceler les défauts, et le système de nettoyage/séchage est utilisé pour effacer la plaquette avant l'expédition. La caractéristique clé d'ASML NXT AI est son unité de projection à rayons X à deux étages, qui permet un nano-tissage de haute précision. Cette machine utilise une résolution de huit nanomètres pour une surface de plaquette extrêmement détaillée. La machine est également équipée d'une source hors axe, ce qui améliore la précision des motifs en produisant des motifs plus uniformes d'un bord à l'autre. En outre, la machine est équipée d'un outil d'auto-alignement ainsi que de divers systèmes de dosage et de placement, ce qui contribue à limiter la variabilité des processus. NXT-AI wafer stepper est conçu avec une mémoire interne haute vitesse et des capacités de traitement, assurant un haut débit et un fonctionnement efficace. La machine est sans COV et est conçue pour offrir une fidélité élevée. Il est également conforme aux exigences AEC-Q213, ce qui permet des réglages fiables en vol en cas d'erreur de traitement. De plus, la machine est équipée de capacités de maintenance automatisées, ce qui permet de réduire les temps d'arrêt et d'augmenter la fiabilité à long terme. Dans l'ensemble, NXT AI wafer stepper est une machine avancée capable de fournir des motifs haute résolution sur des plaquettes semi-conductrices avec une grande fidélité, précision et fiabilité. Cette machine est conçue pour offrir une efficacité et des performances maximales aux fabricants de semi-conducteurs, et ses caractéristiques avancées lui permettent de créer des surfaces nano-motifs complexes et de haute résolution.
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