Occasion ASML PAS 2500 / 10 #9241066 à vendre en France

ASML PAS 2500/10 est un pas de plaquette conçu et produit par la société d'équipement de fabrication de semi-conducteurs ASML. Il s'agit d'une machine relativement avancée qui utilise des technologies avancées d'imagerie, de modélisation et de mouvement pour modeler avec précision la photorésistance sur les plaquettes. La machine comporte deux systèmes de mise en place optique, l'un déterminant le positionnement de la plaquette et l'autre localisant un champ d'alignement pour un décalage microscopique de l'équipement de fixation. Le balisage est réalisé à l'aide d'un système de projection comportant une unité de projection constituée d'un laser de 10 microns avec un miroir triangulaire de 5 pouces. Il dispose également de manipulateurs capables de déplacer la plaquette pour que différentes parties de la plaquette puissent être exposées à la lumière du laser. Les systèmes de positionnement et d'alignement permettent un positionnement très précis de la résine photosensible, avec moins de 1 micron d'écart. La machine de projection utilise une lentille lithographique qui permet une résolution d'exposition fine de 0,5 micron avec une résolution encore meilleure possible avec des lentilles spéciales. L'outil utilise également auto-focus pour s'assurer que le motif est toujours en net focus. PAS 2500/10 est équipé d'un mécanisme de mandrin de plaquette qui se compose d'un mandrin thermique qui maintient la plaquette en mouvement et d'un mandrin de gel qui maintient la plaquette en place lors de sa fixation. Le mandrin thermique donne également à ASML PAS 2500/10 la possibilité de basculer rapidement entre différentes tâches d'exposition. Le pas de plaquette comprend également un étage de plaquette qui est conçu pour fournir une commande automatisée de mouvement stable et répétable. PAS 2500/10 a un total de six axes de mouvement, avec trois dédiés au mouvement de la plaquette, un à la lentille de projection, un au réticule, et un à l'étage de la plaquette. Il a également un marqueur de corrélation de cinq points qui permet l'alignement des photomasques jusqu'à un micron près. L'ASML PAS 2500/10 dispose également d'un manipulateur double axe avancé pour la cuisson automatisée de la résine photosensible qui augmente la précision du processus et assure une répartition uniforme du revêtement de la résine photosensible sur la plaquette. Il dispose également d'un moyen de transport pour faciliter le transfert de la plaquette depuis et vers la machine. PAS 2500/10 est un pas de plaquette très précis et précis. Grâce à ses technologies avancées d'imagerie, d'imagerie et de mouvement, il apporte l'expertise ASML dans le domaine des équipements de fabrication de semi-conducteurs aux petites, moyennes et grandes séries de production. Sa précision de mouvement garantit des tolérances serrées, et son modèle de cuisson photorésiste garantit une exposition contrôlée et précise, permettant de créer des motifs très précis d'une manière rentable.