Occasion ASML PAS 2500 / 20 #293817892 à vendre en France

ASML PAS 2500 / 20
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 2500 / 20
ID: 293817892
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.32 Resolution: 900 nm DCO: 120 Throughput (WPH): 70-85.
ASML PAS 2500/20 est un appareil pas à pas de plaquettes très avancé conçu pour les processus de photolithographie dans la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe est un composant crucial dans la production de circuits intégrés (IC) en permettant la fixation précise de plaquettes semi-conductrices aux caractéristiques ultrafines. ASML, un des principaux fournisseurs de matériel de photolithographie, a développé PAS 2500/20 dans le cadre de sa célèbre famille de marchands de plaquettes, réputés pour leurs performances et leur fiabilité supérieures. Au cœur de l'étape ASML PAS 2500/20 wafer est un système de projection optique sophistiqué qui utilise une série de lentilles de haute qualité, miroirs, et des sources de lumière pour transférer les motifs de circuit d'un photomasque sur une plaquette de silicium. Cette unité de projection joue un rôle central dans l'obtention de la résolution et de la précision submicroniques essentielles à la fabrication de CI avancés avec des conceptions denses et complexes. PAS 2500/20 est équipé d'une machine d'éclairage de pointe qui assure un éclairage uniforme et contrôlé du photomasque, permettant la réplication précise des motifs sur la surface de la plaquette. Une des caractéristiques clés de l'ASML PAS 2500/20 est sa technologie de pointe, qui permet un alignement et un positionnement précis de la plaquette de silicium pendant le processus d'exposition. L'étage de la plaquette est conçu pour se déplacer avec une précision de sous-nanomètre, permettant à l'étape d'atteindre les exigences strictes de recouvrement et d'enregistrement essentielles pour les processus de lithographie multicouche. Le PAS 2500/20 est également équipé de mécanismes avancés d'autofocus et de nivellement qui assurent une focalisation optimale et une planéité de la surface de la plaquette, améliorant ainsi la qualité et l'uniformité du transfert de motifs. En plus de ses systèmes optiques et d'étages de précision, l'ASML PAS 2500/20 intègre des fonctions de contrôle et d'automatisation avancées qui simplifient le processus de lithographie et améliorent l'efficacité opérationnelle. Le stepper est équipé d'un outil de métrologie robuste qui permet de surveiller en temps réel les paramètres clés du processus tels que la précision de l'alignement, l'uniformité de la focalisation et la dose d'exposition. Ce mécanisme de rétroaction permet aux opérateurs de procéder rapidement à des ajustements et à des corrections, assurant ainsi un brassage cohérent et de haute qualité sur plusieurs plaquettes. PAS 2500/20 wafer stepper dispose également d'une suite logicielle complète qui fournit des capacités puissantes pour l'optimisation des processus, la gestion des recettes et l'analyse des données. Le stepper est compatible avec les outils CAO standard de l'industrie, permettant une intégration transparente avec la conception et la mise en page des IC. Les algorithmes logiciels avancés d'ASML optimisent les paramètres d'exposition, tels que les paramètres de dose et de focalisation, pour maximiser la fidélité et le rendement des motifs, tout en minimisant les défauts et les variations. Dans l'ensemble, l'ASML PAS 2500/20 représente un pinacle de la technologie des gradins, offrant aux fabricants de semi-conducteurs une solution fiable et performante pour les procédés avancés de photolithographie. Avec son optique de précision, sa technologie de pointe et ses fonctions de contrôle sophistiquées, PAS 2500/20 permet de fabriquer des IC de pointe avec des niveaux de complexité, de densité et de performance sans précédent. Alors que la technologie des semi-conducteurs continue d'évoluer, l'ASML PAS 2500/20 reste un outil fiable et indispensable pour réaliser la prochaine génération de circuits intégrés.
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