Occasion ASML PAS 2500 / 30 #9043931 à vendre en France

ASML PAS 2500 / 30
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 2500 / 30
ID: 9043931
Taille de la plaquette: 5"
Stepper, 5" Operator training: No PEP 2 (Color Graphics): No PEP 1/3/4: Yes SECS (I/II): No SECS Job creator: No Single reticle SMIF: No Matching manager: No Extended file system (MEP): No Focus enhancement package: Yes Line scan: Yes Dose control: No Reticle error correction: No Throughput enhancement: Yes Batch status light: Yes Reticle carrier identification: No Extended power supply: No 88 um Error detection: No RICO Verification: No Chuck spot detection: No Wafer track interface: Yes Wafer tilt monitor: No Mechanical / Electrical / Options: Interface: SVG 88 Stamp drive type: TEP Stamp foot type: Clean Stamp POU filter: No Cyber: SSSD Air shower (OEPS): Yes P-Chuck: MIII P-Chuck top flat finder: No Microscope: Fixed Lamp HG: 450W Alignment PCBD : 4022.436.24720 Analog PCBD in VME: Yes HDD: Solid state TCU: No HCU: No Ionizer: No Box 1: KAY Box 2: KAY Box 3: KAY Box 4: KAY Box 5: KAY Software: 8.1.0 Optical performance: Uniformity: 2.7 Matching X magnification: 252 Matching Y magnification: 191 UDOF @ 0.7 Micron status Q4-2008: 2.7 Astigmatism noticed: No Focus stability: No.
ASML PAS 2500/30 est un pas de plaquette, couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, pour créer des motifs de circuits intégrés sur un masque de lithographie. Ce modèle particulier de wafer stepper offre une taille de champ optique de 30 x 30 mm et une résolution de 0,39 μ m. Comme modèle d'étape, PAS 2500/30 utilise un réticule pour modéliser l'image désirée sur la plaquette en utilisant une source lumineuse laser UV de haute intensité, qui fournit une longueur d'onde d'exposition uniforme de 248 nm. ASML PAS 2500/30 a une précision de recouvrement nettement améliorée de +/-7 nm par rapport à d'autres modèles pas à pas, ce qui le rend très polyvalent et avantageux dans une variété de tâches, telles que le masquage, la gravure, la lithographie, et plus encore. Il offre également un taux de change rapide de 3 minutes en moyenne. Un avantage supplémentaire est sa capacité de longueur d'onde multiple qui permet à la machine de traiter de grandes plaquettes semi-conductrices ainsi que des substrats avec des structures et des matériaux variés. Le PAS 2500/30 est équipé de dispositifs de sécurité de classe mondiale, permettant le fonctionnement en toute sécurité et la protection du personnel, y compris son bouclier de sécurité laser et son système d'échappement étanche à la poussière. Il fournit également une production haute performance avec une vitesse de traitement allant jusqu'à 18 plaquettes par heure, augmentant considérablement la productivité et le rapport coût-efficacité. L'étape de la plaquette est soutenue par des systèmes intégrés de diagnostic et de rétroaction, qui permettent de suivre différents aspects tels que le progrès de la production, la température, l'humidité et les niveaux de vibration, afin d'identifier rapidement les problèmes potentiels ou les erreurs de production et les temps de réaction rapides et efficaces. En résumé, ASML PAS 2500/30 est un pas de plaquette sophistiqué conçu spécifiquement pour l'utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs, adapté pour le traitement efficace de grands substrats et matériaux, avec diverses caractéristiques de sécurité et de maintenance, le tout dans un emballage hautement fiable et rentable.
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