Occasion ASML PAS 2500 / 30 #9190605 à vendre en France

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ASML PAS 2500 / 30
Vendu
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 2500 / 30
ID: 9190605
Taille de la plaquette: 6"
G-Line stepper, 6".
ASML PAS 2500/30 est un pas de plaquette utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un équipement de pointe alliant optique, mécanique et technologie de contrôle pour produire des images d'exposition haute résolution et très précises. Les capacités avancées de ce stepper le rendent adapté à une grande variété d'applications et d'exigences de production. Le système utilise une lentille de faible grossissement, longue distance de travail afin de réduire le décalage de focalisation dans la région proche infrarouge. Cela permet de produire des expositions courtes, allant de 30 à 120 ms, et d'augmenter le débit. Les étages X/Y utilisent une commande de mouvement basée sur l'asservissement de précision, avec des algorithmes avancés, pour fournir une commande de mouvement de précision supérieure dans un paquet serré. L'unité utilise la technologie step and repeat pour atteindre un haut débit en écrivant rapidement des images sur des plaquettes. Le stepper possède un éclairage séquentiel de champ (FSI) et supporte également un éclairage de flux uniforme et égal (EFI) pour contrôler la dose d'exposition et améliorer la précision et l'uniformité de la résolution de l'image. Le stepper dispose également de systèmes d'exposition programmables pour optimiser l'énergie d'exposition et réduire les effets de focalisation et de dérive thermique pendant l'exposition. La machine dispose d'un outil d'étalonnage automatique précis et rapide qui peut s'ajuster pour l'alignement et l'écart de focalisation qui se traduit par un débit accru et des temps d'arrêt réduits. Il comprend également des systèmes de détection de profil et d'anomalie qui permettent un meilleur contrôle de l'intensité lumineuse pour la précision de la dose d'exposition. De plus, l'actif utilise des systèmes d'inspection et d'examen des défauts pour vérifier la qualité des images exposées. PAS 2500/30 est un modèle avancé qui le rend adapté à la production de dispositifs semi-conducteurs avec le plus haut niveau de précision et de précision. Il possède d'excellentes caractéristiques telles que le contrôle précis du mouvement, l'éclairage séquentiel sur le terrain, les systèmes de précision de dose d'exposition, les systèmes d'examen d'image et la détection des défauts. Cela en fait un outil fiable et efficace pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.
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