Occasion ASML PAS 2500 / 30 #9241931 à vendre en France

ASML PAS 2500 / 30
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 2500 / 30
ID: 9241931
Stepper.
ASML PAS 2500/30 wafer stepper est un équipement utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour exposer des motifs à la surface de substrats de circuits intégrés (IC). Il s'agit d'un dispositif de précision capable d'imprimer avec précision et cohérence les caractéristiques du circuit sur une plaquette de silicium avec une extrême précision. PAS 2500/30 est un modèle pas à pas avancé qui utilise des techniques de réduction optique pour exposer avec précision le motif désiré sur une plaquette de silicium. Le stepper est configuré avec deux systèmes de contrôle, un équipement extérieur et un système intérieur. L'unité externe est responsable de la gestion de la salle blanche, de l'exposition de la plaquette aux processus contrôlés et du maintien d'alignements précis et de la précision. La machine intérieure est responsable de l'ajustement fin de l'exposition de la plaquette. Cet outil surveille et régule la fidélité des motifs, l'alignement et les processus nécessaires pour atteindre la taille souhaitée. ASML PAS 2500/30 utilise une variété d'optiques et une approche pas-à-pas. Le réseau optique se compose de plusieurs lentilles, filtres et autres composants qui sont tous précisément alignés pour diriger le motif d'entrée sur une plaquette de silicium. Ce réseau optique est combiné avec une approche pas à pas pour exposer avec précision les motifs des plaquettes. Les cycles pas à pas le motif focalisé et la porteuse à travers des incréments d'index et les étapes du champ entier à un nombre fixe de fois par cycle. Cela permet d'assurer une exposition précise. L'actif extérieur du stepper surveille l'atmosphère et le blindage lumineux du revêtement de la plaquette et peut contrôler les conditions ambiantes, telles que la température et la pression de l'air. Cela permet de s'assurer que l'exposition de la plaquette est exactement comme spécifié sur la disposition du motif. De plus, PAS 2500/30 comprend un ensemble d'outils de test de précision et de métrologie qui peuvent être utilisés pour surveiller et mesurer les performances de l'étape. Ces outils peuvent fournir des données relatives à l'exposition, à l'alignement et au rendement de l'échelon, et aider à cerner tout problème potentiel lié à son fonctionnement. Dans l'ensemble, ASML PAS 2500/30 est un pas de plaquette très sophistiqué et précis conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable d'exposer des motifs sur une plaquette de silicium avec une extrême précision, permettant la réalisation de circuits intégrés de haute qualité. Ce stepper est un équipement précieux pour toute installation moderne de fabrication de semi-conducteurs.
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