Occasion ASML PAS 2500 / 30 #9356985 à vendre en France
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ASML PAS 2500/30 est un pas CD haute résolution personnalisé conçu pour une large gamme d'applications de traitement de plaquettes. C'est une solution puissante pour les applications de fabrication aux tailles de fonctionnalités submicrométriques et fournit un contrôle de processus supérieur, un débit élevé, et une opération ultra-propre. Le stepper combine les avantages de la lithographie par faisceau d'électrons avec la flexibilité et la compatibilité d'une plate-forme compacte, ce qui en fait le choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. PAS 2500/30's 200mm wafer plate-forme offre le traitement de wafer la plus haute résolution disponible, dépassant d'autres systèmes de lithographie intégrés. L'ASML PAS 2500/30 dispose d'un contrôle des paramètres de pointe à l'aide d'algorithmes avancés, permettant l'optimisation de la superposition submicronique sur l'ensemble du champ. Le pas de plaquette utilise un élément optique diffractif en liaison avec un miroir formant faisceau pour assurer un recouvrement répétable à une large gamme de distances de travail. PAS 2500/30 offre un environnement extrêmement propre, avec une conception qui réduit les conditions de décharge électrostatique. Cette combinaison élimine le fractionnement de la résine photosensible sur les plaquettes et permet le traitement de matériaux sensibles avec une latitude de processus inégalée. L'environnement intégré total comprend un système d'alignement programmable à 2 axes précis, des températures contrôlées par PC et un système de revêtement conforme conforme. ASML PAS 2500/30 est conçu avec la modularité en tête, permettant aux utilisateurs d'étendre ou de modifier la configuration du système pour répondre à leurs besoins de fabrication. Il comprend également une suite complète d'outils intégrés de métrologie et d'inspection avec des interfaces graphiques intuitives pour une configuration facile et un contrôle optimal. Le pas de plaquette est conçu avec une solution de refroidissement évolutive, permettant d'améliorer les performances à mesure que les besoins de production augmentent. Toutes ces fonctionnalités font de PAS 2500/30 le choix intelligent pour les applications avancées de traitement des plaquettes.
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