Occasion ASML PAS 2500 / 40 #9010549 à vendre en France

ASML PAS 2500/40 est une machine de balayage à deux faisceaux qui fournit une grande précision et un débit élevé pour les applications de photolithographie submicronique en volume. L'équipement ASML PAS 2500/40 comprend deux modules indépendants, le Scanner et la Source. Le Scanner est le module de contrôle principal et comprend un scanner à masque source plein champ, un module de contrôle de l'angle d'incidence, un protocole de communication CoaXPress, et un contrôleur pour synchroniser les chemins de données et les mouvements. Pendant ce temps, le module Source se compose d'une source lumineuse laser pulsée à champ plein 40W, d'un système de distribution de lumière polarisée, d'un moniteur de longueur d'onde et d'un moniteur de grille pour s'assurer que les expositions exactes sont réalisées à chaque fois. Avec ces deux modules, PAS 2500/40 est bien adapté pour améliorer l'efficacité et la précision du balayage des plaquettes. De plus, PAS 2500/40 est équipé d'une interface graphique intuitive (interface graphique), permettant aux utilisateurs de contrôler facilement l'unité depuis l'écran tactile. En outre, l'ASML PAS 2500/40 utilise une machine de balayage haute résolution appelée SDF (Sequential Deflection Field Mode), qui peut réduire les erreurs de placement pour les expositions grand angle et réduire la distorsion pour les fonctions longues lignes. De plus, ASML PAS 2500/40 est un amplificateur plein champ, il peut donc fournir jusqu'à 4000 faisceaux programmables, qui permettent l'imagerie des circuits à haute résolution avec facilité. En ce qui concerne les performances, PAS 2500/40 fournit une résolution avancée, une profondeur de focalisation supérieure et un contrôle précis du mouvement de scène. Sa grande précision est obtenue grâce à une combinaison de mesures linéaires et angulaires de précision, telles que le suivi des codeurs et des outils de métrologie optique. En outre, l'outil est conçu pour avoir de faibles aberrations et un faible bruit, assurant une imagerie supérieure et une photorésistance. Enfin, PAS 2500/40 est livré avec une variété de fonctionnalités conviviales, telles que la reconnaissance automatique des plaquettes, les codes d'identification des plaquettes, et la programmation à la volée des paramètres. En conséquence, ce pas de plaquette est l'une des meilleures solutions pour les besoins de photolithographie haut de gamme. En outre, l'actif fournit un suivi simple avec des indicateurs LED et le contrôle de la cohérence, garantissant des processus supérieurs et précis pour chaque application.