Occasion ASML PAS 2500 / 40 #9277550 à vendre en France
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Vendu
ID: 9277550
Taille de la plaquette: 6"
Wafer stepper, 6"
Reticle masking:
(4) Independent blades
Full field of travel
Alignment system:
Dual automatic through-the-lens
Diffraction grating marks
Reticle alignment system
Illumination system:
Elliptical mirror
Fly's eye integrator
Position control:
Three-axis HP laser interferometer system
1988 vintage.
ASML PAS 2500/40 est un outil de lithographie semi-conducteur avancé, parfait pour la fabrication de grands volumes et le traitement de grandes plaquettes. Il utilise des technologies de balayage avancées, y compris le balayage parallèle et le balayage à retard par masque fixe, pour assurer des impressions précises et cohérentes avec des distorsions de bord minimales. Au cœur de la 2500/40 se trouve un équipement d'imagerie cohérente avancé avec un champ de vision carré de 13,3 pouces. Ce système d'imagerie intègre deux angles de polarisation linéaire, quatre modes de balayage et un mode quadrant pour une résolution améliorée. Cette unité d'imagerie fournit une résolution maximale de deux microns - parfaite pour les gros matrices. ASML PAS 2500/40 est capable de produire jusqu'à 12 sites d'inspection par tranche de 6 pouces et jusqu'à 10 taches par seconde. Il dispose également d'une option autoscan pour balayer de multiples champs de vue et plaquettes. Cela garantit une inspection et une impression précises des plaquettes à volume élevé. Par rapport aux modèles précédents, le 2500/40 offre une profondeur de champ améliorée et des temps d'exposition jusqu'à 4x plus rapides. Le stepper est équipé d'une alimentation électrique améliorée, fournissant des doses d'exposition stables et précises. Deux systèmes avancés de suivi des échantillons permettent un alignement précis des échantillons, réduisant les impressions manquantes et augmentant le rendement global. De plus, le 2500/40 peut être intégré à un logiciel de contrôle sophistiqué pour une gestion et un traitement faciles des machines. En termes d'intégration et de maintenance, PAS 2500/40 est très convivial. Le stepper dispose d'un outil de module qui permet un accès facile aux pièces et composants. L'ensemble de l'actif peut être mis en place, étalonné et exploité en seulement 12 minutes. Une série complète de diagnostics assure la stabilité des performances et la fiabilité des résultats. Tout-en-tout, PAS 2500/40 est un pas de lithographie haute performance et de grand volume conçu pour les opérations de fabrication industrielle. Il est équipé d'un large éventail de technologies de pointe, telles qu'un modèle d'imagerie haute résolution, des systèmes automatisés de suivi des échantillons et une alimentation avancée. Et avec un logiciel de contrôle intuitif et une installation rapide et facile, le 2500/40 est une solution idéale pour tous les besoins de lithographie à grande échelle.
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