Occasion ASML PAS 5000 / 1150C #293817888 à vendre en France
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ID: 293817888
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.75
Resolution: 90 nm
DCO: 20
Throughput (WPH): >135.
ASML PAS 5000/ 1150C est un pas de plaquette performant qui joue un rôle crucial dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement de lithographie sophistiqué conçu pour la production de circuits intégrés (IC) sur plaquettes semi-conductrices, permettant de modeler avec précision les caractéristiques avec une résolution sous-micron. Cet outil de pointe offre des technologies et des capacités de pointe pour répondre aux exigences exigeantes des procédés de fabrication de semi-conducteurs de pointe. PAS 5000/ 1150C dispose d'un système de lentilles de projection de pointe qui permet l'imagerie précise des motifs sur la surface de la plaquette. Cette lentille est une composante critique de l'étape, car elle détermine la résolution, la profondeur de mise au point et la précision de recouvrement du processus de fixation. L'utilisation d'une optique de haute qualité et de mécanismes d'alignement de précision garantit que le pas peut atteindre les tolérances serrées requises pour les dispositifs semi-conducteurs avancés. L'une des principales capacités de l'ASML PAS 5000/ 1150C est sa capacité à fournir des motifs haute résolution avec une excellente précision de superposition. Le stepper est capable de produire des caractéristiques sub-micron avec une précision exceptionnelle, permettant la fabrication de conceptions IC complexes avec des exigences de pas serré. Ce niveau de résolution est essentiel pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés avec des facteurs de forme plus petits, des performances plus élevées et une fonctionnalité accrue. En plus de ses capacités de résolution, PAS 5000/ 1150C offre un excellent débit et une excellente productivité pour les environnements de fabrication à haut volume. Le stepper est équipé de fonctionnalités d'automatisation avancées, telles que l'alignement des plaquettes, le contrôle de l'exposition et la manipulation des réticules, qui rationalisent le processus de balisage et minimisent les temps de cycle. Cela permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir des rendements élevés et une production rentable de CI tout en maintenant une qualité et une cohérence élevées. L'ASML PAS 5000/ 1150C intègre également des technologies avancées d'imagerie et d'alignement pour garantir des résultats optimaux. L'étape utilise des sources d'éclairage avancées, telles que les sources de lumière à ultraviolets profonds (DUV) et les sources de lumière à ultraviolets extrêmes (EUV), pour obtenir la résolution et le contraste requis pour concevoir des IC complexes. La machine intègre également des systèmes d'alignement sophistiqués, tels que des capteurs d'alignement laser et des systèmes de positionnement d'étages, pour assurer une superposition précise de plusieurs couches de fixation. En outre, PAS 5000/ 1150C est conçu avec une architecture modulaire qui permet une intégration facile des modules de processus supplémentaires et des mises à niveau. Cette évolutivité permet aux fabricants de semi-conducteurs d'adapter l'outil aux exigences technologiques en évolution et de relever les défis des processus futurs. Le stepper peut être configuré avec plusieurs étages réticulaires, étages de plaquettes et systèmes d'alignement pour répondre aux besoins spécifiques des processus et assurer la flexibilité dans la fabrication. Dans l'ensemble, l'ASML PAS 5000/ 1150C est un pas de plaquette de pointe qui offre une résolution exceptionnelle, une précision de recouvrement, un débit et une flexibilité pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Son atout optique avancé, ses fonctionnalités d'automatisation et sa conception modulaire en font un outil idéal pour produire des IC de nouvelle génération avec des performances et des fonctionnalités supérieures. Avec ses capacités de pointe, PAS 5000/ 1150C est un facteur clé des progrès technologiques et de l'innovation de l'industrie des semi-conducteurs dans les appareils allant de l'électronique mobile à l'informatique haute performance.
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