Occasion ASML PAS 5000 / 350C #293817895 à vendre en France
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ID: 293817895
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.40-0.63
Resolution: 150 nm
MMO: 60
Throughput (WPH): > 120.
L'ASML PAS 5000/ 350C est un équipement de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les procédés de photolithographie. Ce système est fabriqué par ASML, un fournisseur leader d'équipements de photolithographie pour la production de circuits intégrés. PAS 5000/ 350C est conçu pour obtenir une précision et une précision élevées dans la fixation des dispositifs semi-conducteurs sur les plaquettes de silicium, permettant la production de micropuces de pointe avec des caractéristiques plus petites et des performances accrues. Une des caractéristiques clés de l'ASML PAS 5000/ 350C est son unité optique de projection avancée, qui joue un rôle crucial dans le transfert de motifs de masques sur la surface des plaquettes de silicium. La machine utilise un objectif sophistiqué avec plusieurs éléments pour garantir une haute résolution et une qualité d'image dans tout le champ de vision. L'outil de lentille est optimisé pour minimiser les aberrations optiques et les distorsions, ce qui se traduit par une réplication précise des motifs avec une perte minimale de fidélité. Le PAS 5000/ 350C est équipé d'un dispositif sophistiqué d'alignement et de nivellement pour assurer le positionnement précis des plaquettes et des masques pendant le processus d'exposition. Ce modèle utilise des capteurs et des actionneurs avancés pour détecter et corriger tout désalignement ou déviation dans la position de la plaquette et du masque, assurant un recouvrement et un enregistrement précis de plusieurs couches de masque. L'équipement d'alignement est capable d'obtenir une précision de sous-microns, critique pour les caractéristiques de fixation à l'échelle du nanomètre. En plus des capacités d'alignement et de nivellement, l'ASML PAS 5000/ 350C dispose d'un système d'étage de haute précision pour contrôler le mouvement des plaquettes pendant l'exposition. L'étage de la plaquette est conçu pour fournir un mouvement lisse et stable avec des vitesses d'accélération et de décélération élevées, permettant une exposition rapide et efficace de plusieurs matrices sur une seule plaquette. L'unité d'étage est équipée de mécanismes de rétroaction pour surveiller et contrôler la position de la plaquette en temps réel, assurant des performances de préhension précises et reproductibles. PAS 5000/ 350C utilise une machine d'éclairage de pointe pour générer l'intensité lumineuse et l'uniformité nécessaires pour exposer la résine photosensible sur des plaquettes de silicium. L'outil utilise une combinaison de sources lumineuses, de filtres et d'optiques pour obtenir la distribution spectrale et la production d'énergie souhaitées pour des processus de lithographie spécifiques. L'actif d'éclairage est conçu pour fournir un contraste et une résolution élevés, permettant au modèle de modéliser les caractéristiques avec des dimensions submicroniques avec précision. Un autre aspect important de l'ASML PAS 5000/ 350C est son logiciel de contrôle avancé, qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller divers paramètres pendant le processus d'exposition. L'interface logicielle permet aux utilisateurs de configurer les conditions d'exposition, d'ajuster les paramètres d'alignement et d'analyser les paramètres de performance critiques en temps réel. L'équipement dispose également de routines d'étalonnage automatisées et d'outils de diagnostic pour maintenir une performance optimale et détecter les problèmes potentiels avant qu'ils n'aient un impact sur la production. Dans l'ensemble, PAS 5000/ 350C est un système pas à pas de plaquettes de pointe qui offre une précision, une précision et une fiabilité inégalées pour les applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à ses capacités de pointe en matière d'optique, d'alignement et de contrôle, cette unité permet aux fabricants de semi-conducteurs de produire des micropuces à haute performance avec des caractéristiques plus petites et une fonctionnalité accrue, repoussant les limites de la technologie et de l'innovation dans l'industrie des semi-conducteurs.
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