Occasion ASML PAS 5000 / 45 #293749241 à vendre en France

ASML PAS 5000 / 45
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5000 / 45
ID: 293749241
Taille de la plaquette: 5"
Stepper, 5".
ASML PAS 5000/45 est un pas de plaquette utilisé pour l'imagerie de photomasques sur des plaquettes dans la production de semi-conducteurs. Le stepper est équipé d'une lentille haute résolution pour fournir un emplacement de haute précision des points d'exposition sur la plaquette. Il est également équipé d'un interféromètre à 4 anneaux et d'un mécanisme de balayage sans soudure pour assurer un alignement ultra-précis du photomasque et de la plaquette pour chaque exposition. PAS 5000/45 a été conçu pour l'exposition continue de grandes plaquettes, avec un débit de 43 plaquettes par heure. Il dispose d'un grand étage unidirectionnel pour aligner précisément la plaquette pour l'exposition et fournit une taille de champ allant jusqu'à 450 mm. Le stepper dispose d'un équipement d'imagerie hors axe de haute précision pour visualiser avec précision le circuit simulé sur la plaquette. Le stepper dispose également d'un système de cartographie de l'exposition aux arêtes ultra-rapide pour garantir une qualité d'exposition optimale. L'unité est hautement automatisée et est conçue pour fonctionner sans intervention manuelle de l'opérateur. Il dispose d'une machine aérienne intégrée qui nettoie automatiquement la lentille du condenseur et assure des conditions d'imagerie adéquates pour chaque exposition. L'outil peut également signaler des mesures de la qualité de l'image, comme la brume des lentilles, afin d'assurer une précision et une cohérence maximales à chaque exposition. L'ASML PAS 5000/45 est conçu pour la production à faible volume et à haut volume de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il est conçu pour être très fiable, avec un rendement d'impression supérieur à 99,9 %, et un temps moyen entre les défaillances (MTBF) supérieur à 1 million d'expositions. En résumé, PAS 5000/45 est un pas de plaquette très précis et fiable qui est conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il offre une grande précision, un débit élevé et un fonctionnement automatisé, ce qui en fait un choix idéal pour la production de semi-conducteurs.
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