Occasion ASML PAS 5000 / 50 #293620128 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5000 / 50
ID: 293620128
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2005
Stepper, 6" Chiller Light source wavelength: 365 nm Numerical aperture: 0.48 Resolution: 0.5 μm Depth of focus: 1.2 μm Maximum exposure area (X / Y): 16 mm / 20 mm Exposure intensity: 553 mW/cm² Uniformity of light intensity: 2.45% Transfer rate: ≥120 mm/s CD Uniformity (Max-Min): ≤0.10 µm Stage flatness: -0.1 μm/cm Engraving precision (X / Y): 88 nm / 62 nm Engraving method Mask plate size: 5009 Mask switching time: 32s (with alignment action) Mask plate cassette: 2-SMIF box (4) Wafer stages Exposure platform Electric cabinet Transfer unit PC Power supply Projection and expose lens Focus system Electronics cabinet: Lamp power VME MIOS1 MIOS2 VRS HP Rack Control systems: Valve Sensor Reducer Wafer handling: Send unit Receive unit per-alignment levelling device Dipod Discharge Reticle handling: Library Per-alignment Barcode UV Lighting system: Lamp housing Mirror Lens Filter Shutter Stage movement: Stator Linear motor Laser interferometer and source Alignment system 2005 vintage.
ASML PAS 5000/50 est un pas de plaquette automatisé très précis conçu pour les procédés avancés de lithographie utilisés dans la production de semi-conducteurs. Sa manipulation sensible et l'imagerie haute résolution du processus de gravure des électrodes permettent d'obtenir des images microscopiques extrêmement précises sur la plaquette de silicium pour des structures 3D complexes. L'ASML PAS 5000/50 dispose d'un équipement d'imagerie avancé de 4k qui permet une résolution précise de 12 nanomètres. La technologie de positionnement optique embarquée vérifie la position de la plaquette avec une précision nanométrique, permettant des résultats précis à chaque fois. Il dispose également d'une « fonctionnalité temps réel » intégrée qui permet de mesurer des structures à des profondeurs variables, réduisant ainsi le nombre d'itérations lors des étapes critiques du processus de lithographie. PAS 5000/50 a également une vitesse de traitement élevée pour un fonctionnement efficace. Son algorithme avancé peut réduire les temps de traitement jusqu'à 30 %, ce qui accélère considérablement l'ensemble du processus de lithographie. En même temps, il est conçu pour garantir une précision constante quel que soit le temps d'exécution. PAS 5000/50 est conçu pour être extrêmement stable, et son système de suppression des vibrations de l'air élimine le bruit du flux d'air. En outre, son unité de transport de plaquettes est conçue pour manipuler les plaquettes en douceur, évitant ainsi toute contrainte sur les composants délicats à l'intérieur de la plaquette. Enfin, le programme de contrôle convivial de la machine est conçu pour permettre aux opérateurs de contrôler facilement l'appareil avec un minimum d'effort. En conclusion, ASML PAS 5000/50 est un pas de plaquette automatisé très efficace avec des capacités d'imagerie avancées et une résolution précise. Sa vitesse de traitement élevée et sa conception stable permettent des résultats rapides et précis avec un minimum d'effort. En offrant une technologie de lithographie extrêmement précise, ce dispositif est idéal pour la production moderne de semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques