Occasion ASML PAS 5000 / 50 #293621670 à vendre en France

L'ASML PAS 5000/50 est un plateau de tranches de haute précision fabriqué par la société néerlandaise ASML Holdings NV. Le stepper est un équipement de balayage plein champ conçu pour le traitement de grands et petits substrats, y compris les plaquettes de silicium, les substrats organiques et les feuilles de verre optiques. Il permet de créer des caractéristiques micro-échelle de précision d'une taille minimale de 0,15 μ m (1,5nm). ASML PAS 5000/50 est construit sur une conception mécanique robuste qui concentre laser et optique sur le support. Ce système sophistiqué permet à la machine de scanner et d'exposer la pièce avec une image programmée. Le stepper est capable de manipuler des substrats transparents, allant des plaquettes de silicium aux substrats jusqu'à 15,75 pouces de diamètre. Le stepper se compose de trois sections clés, qui sont une table de balayage, une unité d'éclairage, et une machine optique. La table de balayage est constituée d'un agencement bidimensionnel d'électroaimants et de deux tables X-Y pour le positionnement des plaquettes. Les bobines électromagnétiques sont utilisées pour piloter les deux tables X-Y, offrant un déplacement maximal de 80mm (3,14 pouces). L'outil d'éclairage comprend un laser UV de 80 W, un laser UV de 12 W optionnel, un correcteur à miroir déformable, et un réseau d'optiques, y compris des lentilles de haute précision. Les lasers haute vitesse sont capables de balayer avec un taux de répétition allant jusqu'à 420 Hz, ce qui permet un temps d'exposition en ligne de 0,15 seconde (10 ms). Le stepper est également capable de détecter et de corriger les aberrations dans la zone délimitée et de minimiser les effets des variations de focalisation. L'actif optique PAS 5000/50 dispose d'un réseau de lentilles focales courtes et longues, ainsi que d'un correcteur double télécentrique. Les lentilles sont conçues pour réduire les aberrations dans le champ de vision tout en obtenant une taille de tache d'image de 0,6 μ m à 6 μ m. Le stepper est également équipé d'une gamme de caméras pour l'imagerie et les alignements. PAS 5000/50 est un outil polyvalent pour diverses applications avancées de microscopie. C'est un choix fiable pour les utilisateurs qui doivent produire des substrats à motifs de haute précision pour la fabrication d'IC, d'écrans et d'optiques. Le stepper est fiable, efficace et fournit des solutions efficaces pour un large éventail de tâches allant de la recherche et développement à la production à haut volume.