Occasion ASML PAS 5000 / 50 #293749240 à vendre en France

L'équipement ASML PAS 5000/50 est une solution de lithographie avancée pour la production de semi-conducteurs. Le système offre des performances et une productivité inégalées, ce qui en fait un équipement essentiel pour tout fabricant de semi-conducteurs. ASML PAS 5000/50 utilise un pas de plaquette pour déplacer la plaquette et l'aligner avec précision avec le photomasque, ce qui permet de transférer un motif sur la plaquette. Le pas de plaquette utilise le positionnement laser, une conception à deux axes, des moteurs linéaires et des codeurs, et un CPU de commande de mouvement. Le masque aligneur dispose d'une grande distance de travail et peut accueillir n'importe quel masque de taille jusqu'à 6 pouces (15 centimètres). L'unité fournit une haute résolution jusqu'à 4nm, permettant d'imaginer des caractéristiques aussi petites que 45 nm. Le masque aligneur a également une taille de plaquette maximale de 150 mm x 150 mm et peut manipuler des plaquettes avec une gamme de matériaux, y compris le quartz, le silicium et le saphir. PAS 5000/50 offre un processus d'alignement automatisé qui utilise une combinaison de détection physique et visco-optique pour assurer un positionnement précis du masque par rapport à la plaquette. De plus, les anneaux d'alignement et de balayage assurent que le masque et la plaquette sont toujours alignés avant chaque balayage. Cela permet à la machine d'obtenir la précision et la répétabilité souhaitées pour une production à haut rendement. En termes de productivité, PAS 5000/50 peut atteindre 4 000 plaquettes par heure avec un débit de 200 plaquettes par heure. L'outil dispose d'une protection intégrée contre les dommages mécaniques et thermiques aux plaquettes, ainsi que d'une large gamme de temps d'exposition et de cycles de durcissement. L'interface conviviale de l'ASML PAS 5000/50 facilite le contrôle et la surveillance de l'actif. Le logiciel du modèle permet des statistiques en temps réel, y compris le débit des plaquettes, la précision d'alignement et le temps de débit. En outre, le logiciel permet de partager les données stockées entre plusieurs systèmes et offre une capacité efficace de commutation de recettes. En conclusion, l'ASML PAS 5000/50 est une excellente solution pour la production de semi-conducteurs en raison de ses performances et de sa productivité élevées. Son large éventail de fonctionnalités garantit que l'équipement peut gérer des tâches complexes, tandis que son interface conviviale garantit qu'il peut être utilisé rapidement et facilement.