Occasion ASML PAS 5000 / 50 #293817883 à vendre en France

ASML PAS 5000 / 50
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5000 / 50
ID: 293817883
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.48 Resolution: 500 nm DCO: 125 Throughput (WPH): 50.
L'ASML PAS 5000/50 est un pas robotisé performant qui est utilisé pour créer des composants semi-conducteurs individuels extrêmement précis à partir de dalles de silicium. Il se compose d'un équipement de bras robotiques qui déplacent des plaquettes et des substrats à travers plusieurs étages sous vide pendant qu'ils sont exposés à un faisceau laser d'imagerie. Au cœur du système se trouve une plate-forme pas-à-pas, qui balaie un motif sur une lentille d'imagerie, tracant le chemin du faisceau d'électrons dans un motif régulier. Ce motif est projeté sur la surface de la plaquette et est balayé avec précision plusieurs fois pour créer une image finement détaillée. Pour soutenir le déplacement et le suivi précis de la plaquette, l'ASML PAS 5000/50 intègre une unité d'étiquetage haut de gamme qui poursuit avec précision la cible tout au long de chaque étape et balayage. Ceci permet un positionnement et un réglage précis de la plaquette, ce qui permet une grande répétabilité dans le processus de fabrication. PAS 5000/50 dispose également d'une machine d'imagerie optique qui permet l'inspection informatisée des dispositifs et circuits filaires sur la surface de la plaquette. Cela permet un dépannage rapide et facile des pièces et composants qui ne peuvent pas être vus à l'œil nu, aidant à s'assurer que les pièces sont fabriquées avec une grande précision. De plus, le stepper est équipé d'un outil de correction numérique qui fournit un alignement délicat et des capacités d'édition de haute précision pour les mouvements du stepper. Ceci permet une plus grande précision dans le faisceau laser d'imagerie qui est projeté sur la surface de la plaquette et assure que chaque composant reste fidèle au dessin CAO associé. Enfin, PAS 5000/50 est très compatible avec d'autres systèmes, tels que les systèmes de mesure à couches minces. Cela permet aux opérateurs de mesurer, d'inspecter et d'ajuster les caractéristiques physiques des couches minces sur la surface de la plaquette. Cela permet d'assurer la plus grande efficacité et qualité de production. En conclusion, l'ASML PAS 5000/50 est un pas de plaquette robotisé avancé spécialement conçu pour la production de composants semi-conducteurs complexes. Ses systèmes avancés de balayage, d'imagerie et de positionnement contribuent à garantir la précision et la répétabilité du processus de production, permettant la production de composants extrêmement précis.
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