Occasion ASML PAS 5000 / 50 #9046375 à vendre en France
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Vendu
ID: 9046375
Stepper / scanner, 0.50um i-line, 3"-6"
Fully automated wafer handling system
2" with holders capable.
ASML PAS 5000/50 est un pas de plaquette de pointe conçu pour répondre aux besoins de production à haut volume. Ce dispositif est capable de bloquer des couches critiques de micro-circuits sur des plaquettes semi-conductrices, et est idéal pour la fabrication de la technologie numérique moderne. ASML PAS 5000/50 est une solution de lithographie optimisée qui utilise des lentilles à haute résolution, des systèmes d'imagerie avancés et des algorithmes logiciels sophistiqués pour dessiner avec précision les plaquettes. L'équipement est suffisamment flexible pour supporter à la fois l'exposition unique et les opérations d'exposition multiple dans une variété de résolutions. Ceci est complété par une capacité de production à haut débit et un temps d'arrêt minimal de la machine. En termes de conception optique, PAS 5000/50 utilise une lentille double champ avancée avec une ouverture numérique de NA = 0,22 et un système d'alignement de projection basé sur le miroir, qui permet une imagerie haute résolution. L'unité dispose également d'une machine de contrôle de focalisation et d'exposition entièrement intégrée, ainsi que d'un outil d'imagerie aérienne avancé et d'une suite de calibration de caméra. PAS 5000/50 dispose également d'un bras de mouvement et d'un mandrin de plaquette qui permet de placer la plaquette dans l'orientation souhaitée, ainsi que de permettre un ciblage précis et une exposition des différentes régions du circuit intégré. Un moyen de serrage automatique compte les variations de vitesse de rotation, ce qui permet un calage fiable des plaquettes. ASML PAS 5000/50 a également été conçu avec une série de systèmes automatisés de suivi et de gestion des processus. Cela comprend un modèle avancé d'inspection des défauts des plaquettes, ainsi qu'un ensemble complet d'analyse des processus qui permet de détecter et de diagnostiquer rapidement tout problème potentiel. Enfin, ASML PAS 5000/50 est capable d'exécuter des recettes de production automatisées, qui sont programmées pour garantir les normes de qualité les plus élevées sont atteintes dans le processus de fabrication. Cela permet des taux de défauts les plus faibles possibles et un délai de production plus rapide. En résumé, PAS 5000/50 est un pas de tranche très avancé conçu pour répondre aux besoins de la production moderne. Avec sa conception optique personnalisée, son contrôle d'exposition et de focalisation intégré, ses recettes automatisées, sa surveillance des processus et ses systèmes de gestion, cet appareil est idéal pour la fabrication de plaquettes à haut volume.
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