Occasion ASML PAS 5000 / 55 #9241173 à vendre en France
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ASML PAS 5000/55 est un pas de plaquette, conçu pour la production de circuits intégrés. Il est utilisé pour la photolithographie, une étape importante dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. L'équipement est capable de produire des rendements supérieurs en micro-composants, et a un temps de cycle de production standard d'un peu plus d'une minute. Le PAS 5000/55 utilise un contrôleur de mouvement programmable pour positionner et aligner rapidement deux projecteurs haute résolution qui, ensemble, exposent les zones d'une plaquette de semi-conducteur à la lumière en utilisant des motifs programmés numériquement. Cette opération, connue sous le nom d'étape, consiste à projeter de multiples motifs d'exposition se chevauchant avec une précision au niveau du nanomètre sur l'ensemble de la plaquette de semi-conducteur. Son architecture brevetée de moteur léger PAS E + permet à ASML PAS 5000/55 de stocker jusqu'à quatre motifs d'exposition dans sa mémoire embarquée, et de les exécuter en séquence sur un seul cycle d'exposition. Cela réduit considérablement le temps nécessaire pour achever l'ensemble du processus de photolithographie, et permet aux fabricants de réduire le coût de production en augmentant le débit. PAS 5000/55 est également capable d'exposition multicouche, permettant la réalisation de circuits intégrés plus sophistiqués. Le système est capable d'opérations d'exposition dans des domaines tels que la mémoire Flash, les circuits logiques à grande vitesse, les DRAM et la mémoire vive dynamique. La taille des plaquettes que l'ASML PAS 5000/55 peut traiter varie entre 6 et 12 pouces de diamètre, selon la configuration de l'unité. Ses spécifications comprennent également une résolution de parcours de 0,1 nanomètres, une précision de descente de 0,5 %, une répétabilité de 0,2 nanomètres et une réduction des erreurs de réaction (RE) de 0,7 nanomètres. Le PAS 5000/55 est équipé d'une gamme de dispositifs de sécurité pour garantir la sécurité de son fonctionnement et la qualité des circuits intégrés qu'il produit. Il s'agit notamment des systèmes de verrouillage automatique, des systèmes de mise au point et d'alignement automatiques, des paramètres de position et d'inspection des marques mesurés en continu et du contrôle de rétroaction Auto-FPR pour maintenir des conditions d'imagerie optimales. ASML PAS 5000/55 est une machine à la pointe de la technologie pour la photolithographie à semi-conducteur, et convient pour une utilisation dans des usines qui nécessitent des rendements supérieurs en micro-composants et un temps de production réduit. C'est un outil fiable et convivial, de plus en plus répandu dans l'industrie des semi-conducteurs.
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