Occasion ASML PAS 5000 / 55 #9245465 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5000 / 55
ID: 9245465
Stepper.
L'ASML PAS 5000/55 est un équipement de pointe conçu pour automatiser la production de circuits intégrés. Le système utilise un microscope électronique à balayage pour inspecter et localiser les caractéristiques sur la plaquette avant et après l'exposition d'un film photorésistant. Il permet un alignement de position précis des composants pas à pas et peut effectuer des tests simultanés de photomasques. Le PAS 5000/55 se compose d'un ordinateur central et de plusieurs composants logiciels, matériels et optiques. L'unité comprend une table d'alignement de masque qui permet un positionnement précis de la photomasque par rapport à la plaquette pour une imagerie précise. Une paire de têtes d'exposition munies d'interféromètres laser est également incluse pour aligner les composants optiques et assurer un alignement optimal pendant l'exposition. En outre, ASML PAS 5000/55 dispose d'une tête de microscope électronique à balayage (SEM) avec une étape d'inspection et de positionnement des plaquettes avant et après le processus. La suite logicielle de la machine est conçue pour intégrer tous les composants, et peut fonctionner indépendamment de l'ordinateur central. Le PAS 5000/55 est équipé d'un outil de palier à air avancé et est conçu pour pouvoir fonctionner dans un environnement atmosphérique ou sous vide. L'actif utilise un modèle optique spécialisé pour diriger et contrôler les différents composants optiques, assurant la précision de l'alignement et de l'imagerie. Le photomasque est placé sur un adaptateur spécial qui est relié aux deux têtes d'exposition principales. Une paire de composants d'isolation des vibrations est également incluse dans l'équipement, permettant une stabilité maximale de l'image. ASML PAS 5000/55 est capable d'une variété de dimensions de photomasques et de plaquettes, et est capable d'accueillir la production de plaquettes jusqu'à 300mm. Des capteurs intégrés à l'intérieur de l'outil permettent le réglage en temps réel et la surveillance du processus, ce qui lui permet d'améliorer avec précision la stabilité du processus entre les plaquettes pour des performances cohérentes. En utilisant PAS 5000/55, les utilisateurs sont en mesure de réaliser l'imagerie de circuits intégrés avec une grande précision. Le système est rapide et efficace, et ses composants logiciels et matériels sont conçus pour assurer un fonctionnement fiable de l'unité et assurer que le processus donne des résultats cohérents et précis.
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