Occasion ASML PAS 5000 / 55 #9300741 à vendre en France

L'ASML PAS 5000/55 est un pas de plaquette très précis qui est utilisé pour réaliser des circuits microélectroniques à base de plaquettes. Cette machine est capable de masquer les substrats avec une grande précision dans une large gamme de technologies de micro-fabrication. Il dispose d'un équipement de lithographie avancé qui utilise la lumière UV extrême (EUV) d'une décharge de plasma pour exposer la lumière modulée sur une plaquette. PAS 5000/55 fournit une excellente résolution de motif avec peu ou pas de distorsion, ce qui le rend capable de produire de très petites structures avec des rendements élevés. Le système de lithographie utilise l'optique miroir pour projeter la lumière EUV sur un réticule qui est monté dans l'étage. La machine balaye le réticule à des fréquences allant jusqu'à 30 kHz afin de produire un motif exact sur la plaquette. Les composants optiques de l'unité ont une ouverture numérique extrêmement élevée de 0,9 pour assurer la résolution de motif la plus élevée. La commande du processeur accepte les entrées de l'extérieur telles que les données positionnelles d'un pré-alignement, les données de vitesse et d'accélération, et les données réticulaires telles que le nombre de répétitions par tir, la largeur des lignes de motifs et les paramètres de rayons X. Le stepper est programmé avec un logiciel pour contrôler la puissance laser, le débit de dose et le nombre de prises de vue. Le laser est capable d'un taux de répétition d'impulsions allant jusqu'à 4 MHz et d'une taille de champ allant jusqu'à 200 mm de diamètre. Le stepper est également capable de vitesses d'exposition élevées allant jusqu'à 20 m/s, permettant des débits plus élevés. ASML PAS 5000/55 dispose d'un certain nombre de dispositifs de sécurité et de capteurs pour assurer la sécurité de l'opérateur et de la machine. La machine est capable de fonctionner dans un certain nombre de conditions environnementales différentes. Cela comprend des caractéristiques telles que la température, l'humidité et les capteurs de vibrations pour alerter les opérateurs de toute contamination potentielle. PAS 5000/55 est un excellent choix pour la production de puces. Il est fiable, précis et capable de produire des structures complexes efficacement. En outre, il est rentable et fournit une excellente résolution de motif avec une distorsion minimale, permettant des rendements plus élevés avec moins de cycles de re-fabrication.