Occasion ASML PAS 5000 / 55A #9315876 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5000 / 55A
ID: 9315876
Stepper.
ASML PAS 5000/ 55A est un pas de plaquette utilisé dans la production de circuits intégrés (IC) tels que DRAM, microprocesseurs et dispositifs logiques. C'est un équipement d'imagerie de haute précision qui utilise un faisceau laser pour transférer un motif sur une plaquette de silicium. L'ASML PAS 5000/55 A se compose d'un étage optique, d'un étage de balayage et d'une unité de commande. L'étage optique contient un système d'éclairage, une unité de séparation des faisceaux et une machine d'optique de projection. L'outil d'éclairage est un laser puissant capable de produire une tache de taille précise sur la plaquette. L'actif séparateur de faisceau divise la lumière du laser en deux faisceaux, qui sont ensuite utilisés pour créer un motif photomasque. Le modèle d'optique de projection amplifie le motif photomasque et l'aligne avec précision sur la plaquette. L'étage de balayage est constitué d'étages de positionnement X et Y et d'un étage de rotation. Les étages sont utilisés pour déplacer la plaquette par rapport au motif généré par l'étage optique. Enfin, l'unité de commande est utilisée pour contrôler avec précision le fonctionnement du pas de plaquette. PAS 5000/ 55A est capable d'imprimer des motifs sur des plaquettes avec une résolution de 0,25 um, ce qui est bien supérieur à la précision des techniques de film classiques. Cette caractéristique le rend idéal pour la production d'IC haute densité tels que les DRAM. L'équipement a également un débit élevé, ce qui lui permet de produire des centaines de CI dans un court laps de temps. En outre, la faible dose d'exposition requise par PAS 5000/55 A lui permet de produire des caractéristiques très fines sur une plaquette sans l'endommager. L'ASML PAS 5000/ 55A est un pas de plaquette fiable et précis qui est souvent utilisé pour la fabrication d'IC. Il offre une grande précision, un débit élevé et une faible dose d'exposition, ce qui en fait un outil essentiel pour la production de circuits intégrés ultra-haute densité.
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