Occasion ASML PAS 5500 / 100 #9045059 à vendre en France

ASML PAS 5500/100 est un pas de plaquette avancé conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Cette machine est capable de balayer la surface de plusieurs plaquettes à la fois afin de créer une image précise. Le processus de balayage est précis et répétable, permettant à la machine de fabriquer rapidement de minuscules structures de dispositifs avec des défauts minimes. Cet équipement est équipé d'axes x et y motorisés qui servent à positionner le mandrin de plaquette. Il a également un objectif qui est capable de balayage en z-axe, lui permettant de scanner une plaquette complète même sur le dessus de la surface inégale de la plaquette. La taille de balayage de la machine atteint 7,8 mm ou 200 μ m, ce qui lui donne la capacité de traiter de grands substrats, ainsi que de très petits appareils. De façon impressionnante, l'ASML PAS 5500/100 est équipé d'une source laser ArF 25mW qui fonctionne à une longueur d'onde de 193nm. Ce laser combine la puissance de l'exposition aux ultraviolets profonds et un processus de balayage à haute vitesse en z-axis pour offrir un développement rapide et précis. De plus, il peut traiter et représenter des plaquettes avec des motifs complexes avec facilité - même en utilisant des lignes minces et court-espacement. Ce système est construit avec un capteur d'exposition spécial et un logiciel d'interface conçu pour détecter les aberrations de second ordre de l'unité optique. Cela garantit que la machine fonctionne toujours avec une grande précision malgré les faibles vibrations du substrat, de sorte que les motifs erratiques sont évités. De plus, chaque étape du processus d'exposition est surveillée en temps réel, de sorte que vous pouvez poursuivre le développement même après un dommage potentiel. Pour suivre le développement, le panneau de commande de la machine est entièrement interactif. Vous pouvez visualiser l'état des plaquettes et les données de balayage directement à partir du panneau, qui est même équipé d'une joggeuse pour modifier la source lumineuse. En résumé, PAS 5500/100 est un pas de plaquette très fiable capable de produire des images très précises et précises. Il dispose d'une source laser ArF 25mW et d'une machine de surveillance de l'exposition pour un contrôle serré et la précision, et il est livré avec un panneau de contrôle interactif pour un suivi facile. Dans l'ensemble, c'est la machine parfaite pour obtenir les meilleurs résultats de processus.