Occasion ASML PAS 5500 / 100C #293804502 à vendre en France
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ID: 293804502
Style Vintage: 1995
Stepper
DNS Wafer track, 8"
(2) Coater / (2) Developer system
1995 vintage.
ASML PAS 5500/100C est un pas de plaquette avancé conçu pour la fabrication de circuits intégrés. Ce pas de plaquette a un débit et une précision élevés qui permet la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il est capable de traiter jusqu'à 21 000 matrices par heure et peut accueillir une large gamme de tailles de plaquettes de 25 mm à 200 mm. ASML PAS5500/100C est composé de cinq composants principaux. Le premier est l'étage réticulaire, qui est un dispositif de précision qui tient la photomasque qui tient le circuit désiré. La seconde est l'ensemble wafer et scanner, qui est un bras robotisé qui déplace la plaquette et le photomasque l'un sur l'autre à une vitesse précise et unidirectionnelle. Le troisième composant est l'équipement de projection, qui est composé de nombreuses lentilles et miroirs qui projettent l'image sur la plaquette dans le motif exact désiré. Le quatrième composant est le système d'alignement, qui utilise une unité de vision de la machine pour détecter et aligner le motif aux coordonnées désirées. Enfin, le cinquième composant est la machine de calcul, qui traite les données d'image afin de créer le motif désiré. PAS 5500/100C est équipé de plusieurs caractéristiques pour améliorer les performances. Ces caractéristiques comprennent un outil d'imagerie haute résolution, une vitesse élevée, un actif de balayage à faible bruit, et un modèle d'alignement de haute précision. L'étage de plaquette est capable de maintenir une précision micro niveau, même à des vitesses élevées, avec l'équipement d'auto-étalonnage intégré. L'optique avancée de la machine et le système de calcul sophistiqué facilitent également un meilleur débit, une meilleure précision et une production très fiable. PAS5500/100C est également une machine très efficace car elle est capable de traiter plusieurs réticules avec un seul scan. Cette procédure est connue sous le nom de « balayage d'éclatement » et peut entraîner une amélioration significative de la productivité ainsi que des coûts de production plus faibles. Le wafer stepper est également capable de s'adapter à une variété d'exigences de processus différents et offre une large gamme d'options de traitement. Dans l'ensemble, l'ASML PAS 5500/100C est un pas de plaquette haute performance capable d'un débit et d'une précision élevés. Il permet de réduire les temps de production, d'augmenter la précision et le rendement, et de faciliter la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. L'unité est hautement configurable et peut accueillir une grande variété de tailles de plaquettes et les exigences de processus.
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