Occasion ASML PAS 5500 / 100D #9045382 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 100D
ID: 9045382
i-Line stepper Temperature control unit (TCU) SUN computer system Under OEM Service contract Missing and known defective parts: (2) Wafer Handling Elevator (2) Elevator cover P-Unit Actuator Edge Sensor Air Control Unit REMA Unit Illumination House exhaust hose Wafer Stage Motion Control Rack Fan Unit, and Power Amps Reticle Table has a small chip on the front left pad Currently installed 1996 vintage.
L'ASML PAS 5500/ 100D est un équipement de production de pas de plaquettes très avancé. Cette machine très précise est utilisée pour graver des motifs complexes sur la surface des plaquettes de micropuces. Il utilise un équipement d'optique miroir extrêmement précis pour propager un faisceau de lumière pour graver des motifs sur des substrats. Cet appareil est considéré comme le « moteur de travail » des installations de production en raison de sa précision constante et de ses taux de production. Le cœur d'ASML PAS 5500/100D est son scanner qui contient un miroir courbé renfermant quatre miroirs en arc de cercle. Ces miroirs sont appelés « miroirs facettes » et permettent au système optique d'analyser des motifs complexes à partir d'une seule source ponctuelle. Le bloc optique peut balayer horizontalement et verticalement et se déplacer à une vitesse de 375mm/sec. La machine optique est également contrôlée en température, ce qui assure une réplication précise et précise des motifs. PAS 5500/100 D est conçu pour interagir avec son propre logiciel qui permet à l'utilisateur de contrôler la machine de trois façons. Le premier est un mode en temps réel où un opérateur peut sélectionner et définir des variables générales et spécifiques telles que le temps d'exposition, l'énergie et la complexité des motifs. Le second est un mode « vrac » qui permet à l'utilisateur de traiter un certain nombre de plaquettes à la fois, tandis que le troisième est un mode « lot » qui permet à l'utilisateur de traiter plusieurs tâches simultanément. PAS 5500/100D dispose d'un outil de métrologie en ligne qui permet à l'utilisateur de vérifier l'exactitude de ses motifs gravés. Cet actif utilise le même modèle optique que le processus de gravure pour visualiser les motifs sur le matériau et déterminer les variances si elles sont trouvées. D'autres caractéristiques de PAS 5500/ 100D comprennent également des systèmes de manutention de plaquettes sous vide, une source LED, des alimentations à haute tension et des équipements de collage automatisés à bande haute densité qui permettent la production de plaquettes modernes avec des lignes extrêmement fines et de petites caractéristiques. En résumé, ASML PAS 5500/100 D est une machine pas à pas de plaquettes extrêmement avancée et précise qui est utilisée dans la production de plaquettes de micropuces. Son équipement optique sophistiqué et régulé en température lui permet d'analyser des motifs complexes d'un seul point avec un degré de précision extrêmement élevé. Il utilise également un certain nombre de systèmes de métrologie en ligne pour vérifier l'exactitude des motifs gravés et des systèmes de manutention des plaquettes sous vide pour une efficacité accrue. Avec sa conception robuste et fiable, ASML PAS 5500/ 100D est un outil inestimable dans toutes les installations de production de plaquettes.
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