Occasion ASML PAS 5500 / 100D #9075820 à vendre en France
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Vendu
ID: 9075820
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Stepper, 8"
HDD
Intensity data: 245 mW/cm2
Uniformity: 2.71% (2014.2.27)
Dose accuracy: 0.37 %
Repeatability: 0.37 % (2014.2.27)
Single machine overlay:
X: 21 nm
Y: 23 nm (2005.12.23)
Wafer stage accuracy:
X: 5 nm
Y: 10 nm (2005.12.23)
Wafer stage repeatability:
X: 4 nm
Y: 8 nm (2005.12.23)
1996 vintage.
L'ASML PAS 5500/ 100D est une étape de pointe et un pas à répétition conçu pour la production de semi-conducteurs, de photoniques et de microélectroniques. Cet équipement dispose d'une surface de terrain efficace de 8 pouces de plaquettes de diamètre, permettant une production cohérente sur les composants électroniques même les plus petits. ASML PAS 5500/100D utilise des mises à niveau avancées de 0,6 et 0,75 micron, permettant une résolution leader dans l'industrie et une réduction de 5x de l'erreur de recouvrement. Cette étape fiable comprend des composants de mouvement de précision de pointe, y compris une architecture de boucle fermée de confinement de fond unique pour assurer la précision et la répétabilité. Le PAS 5500/100 D comprend également un ensemble de capteurs propriétaires composé d'un capteur d'inertie numérique (DI), d'un capteur de vitesse corrigé d'inclinaison (TCV) et de capteurs de vitesse XY pour permettre un contrôle précis et automatisé de ses processus. ASML PAS 5500/100 D utilise un système laser avancé hélium-néon (HeNe). Il permet une plaquette entièrement automatisée pour réticuler l'enregistrement des motifs ainsi qu'une exposition précise des motifs. L'unité laser HeNe est efficace et adaptable aux besoins de chaque utilisateur, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster la dose d'exposition laser, la vitesse de balayage, l'intensité laser et la zone de balayage aux spécifications souhaitées. Cette machine comprend également des mises à jour logicielles pour améliorer encore son expérience utilisateur. Les algorithmes de traitement d'image définissent précisément les marques d'enregistrement et localisent avec précision les caractéristiques uniques avec une précision sans précédent. Le logiciel est également équipé d'outils d'automatisation puissants conçus pour améliorer le temps de cycle et prévenir les erreurs de revêtement. Le stepper breveté de la série AX +, qui intègre PAS 5500/ 100D, utilise des mécanismes avancés de recouvrement et de correction de distorsion d'image. Cette technologie brevetée garantit que l'exposition sur la plaquette est cohérente et précise. PAS 5500/100D est l'étape parfaite pour la production à haut volume dans les industries des semi-conducteurs, de la photonique et de la microélectronique. Grâce à son outil laser HeNe, à ses technologies brevetées et à ses logiciels puissants, cet atout produit des résultats avec une précision et une répétabilité inégalées.
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