Occasion ASML PAS 5500 / 100D #9202567 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 100D
ID: 9202567
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
i-Line stepper, 8" Process: Front end & back end CPU Type: SPARC5 CM options: Lens number: 7556500A Lens type: 75 Field diameter: 31.1 ARMS/RMS: RMS Chuck type: Zerodur Athena: No Parameter Illumination: 22.0X22.0 mm (%): <2 Intensity: >900 (mw/cm²) Lens distortion: Red blue NCE (nm): 0.0001<X<78 Magnification (ppm): -3< x <3 Reticle table tilt Rx (µrad): -10<X<10 Reticle table tilt Ry (µrad): -10<X<10 Reticle table height (µm): -10<X<10 Focal: Image tilt Rx (µrad): -5<X<5 image tilt Ry (µrad): -5<X<5 Focus height (µm): -0.8<X<-0.6 Overlay: Machine overlay to /100C or /100D: X<120 Reference machine (nm): Y<120 FPD (µm): 0.40 AST (µm): 0.407 CIM Linked 1996 vintage.
L'ASML PAS 5500/ 100D est un pas de plaquette spécialement conçu pour diverses utilisations industrielles, y compris les dispositifs microélectroniques de production. Ce dispositif apporte plus de précision et de précision lors de la production, permettant une plus grande automatisation des processus. L'appareil est construit avec un corps en acier durable et de haute qualité, qui est fini pour fournir des performances supérieures pendant la production. En outre, il est équipé d'une variété de caractéristiques mécaniques et électroniques qui offrent des performances supérieures. Cela comprend un scanner pour contrôler le faisceau, le laser, les moteurs et d'autres composants ; un équipement intégré de contrôle de l'alignement ; position de la plaquette ; et un mécanisme d'élévation pour l'échange de la cassette. ASML PAS 5500/100D se compose de trois composants principaux : le laser, le scanner et l'optique de projection. Le module laser est responsable de la génération de la formation de rue, qui sont utilisés pour effectuer le balisage nécessaire sur la plaquette. Le scanner est utilisé pour déplacer le faisceau laser afin de créer les motifs de rue désirés, et l'optique de projection sont utilisés pour optimiser la qualité de l'image projetée. Afin d'assurer la précision de la description, le module laser est construit avec une haute résolution et une gamme dynamique, tandis que le scanner est construit pour donner un excellent contraste et la création de motifs complexes. De plus, l'appareil est équipé d'un système breveté d'autotracking, qui permet à la machine de régler automatiquement le faisceau laser en fonction du motif de la plaquette. Cela permet une production plus rapide et plus précise, une automatisation accrue du processus. Par ailleurs, PAS 5500/100 D est conçu pour améliorer la précision dimensionnelle au moyen d'une unité sophistiquée d'étalonnage pas à pas. Cette machine surveille et ajuste l'accumulation de la dose d'exposition et la précision de recouvrement pendant la séquence d'exposition, et fournit un niveau précis de contrôle. En outre, il est équipé d'un outil avancé de remplacement des réticules et d'un outil intelligent de positionnement des plateaux, qui élimine tout défaut dans le positionnement des plaquettes et réduit au minimum les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, PAS 5500/100D est un pas de tranche de haute précision qui est spécifiquement conçu et construit pour une variété d'utilisations industrielles. Il offre une variété de fonctionnalités qui le rendent très efficace dans la conception et l'exposition, et son inclusion d'un modèle d'autotracking sophistiqué le rend plus rapide et plus précis que jamais.
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