Occasion ASML PAS 5500 / 100D #9203101 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 100D
ID: 9203101
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
i-Line stepper, 8" Process: Stepper Wavelength: 365nm Resolution: 400nm Overlay: 70nm Throughput: 72 WPH Non-SMIF Automation online component: SECE I/II Reticle size, 6" Wafer type: Flat zone Inline flow: Right Main computer type: SUN SPARC-5 WL Port number: 1 and 2 RL Library: RMS Type PPD Type: No Maximum NA: 0.6 BMU Type: Standard Vendor: Lamp (1500W) SCAN Speed: 320 mm/sec Pin chuck Operating system: UNIX 1995 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D est un pas de plaquette de premier plan mondial développé par ASML, une entreprise de fabrication de semi-conducteurs de pointe. Il s'agit d'un équipement de positionnement de précision compact et porteur d'air pour transférer avec précision des motifs sur une plaque circulaire appelée plaquette. ASML PAS 5500/100D est composé de trois composantes principales : une structure principale, un lambda-axe, et un générateur de motifs. La structure principale consiste en un étage X-Y entraîné par des moteurs de précision pour atteindre des stabilités de niveau nanométrique dans les trois axes de mouvement. L'axe lambda est un étage rotatif capable de faire tourner la plaquette et d'adopter un réseau de formats différents tels que rond, rectangulaire et carré selon l'application. Le générateur de motifs comprend des composants laser performants qui génèrent le motif sur la plaquette lorsqu'ils sont exposés à la lumière laser transmise. Le générateur de motifs comprend également un système optique avancé pour fournir la résolution désirée jusqu'à 300nm. Le PAS 5500/100 D dispose également d'une unité de commande de mouvement en boucle fermée robuste pour un alignement et un positionnement de haute précision. Cette machine de contrôle utilise des codeurs, un outil de rétroaction, et divers éléments d'interfaçage tels qu'un actif de traitement de vision/image et d'interférométrie laser pour le transport précis des plaquettes. La conception de la machine utilise également un modèle porte-air pour minimiser les vibrations et assurer une plate-forme stable. L'ASML PAS 5500/100 D est également équipé d'un équipement avancé de contrôle de l'environnement. Ce système permet un contrôle précis de la température et de l'humidité pour maintenir les paramètres de la plaquette et éviter tout dommage causé par la chaleur ou l'humidité. L'ensemble est enfermé dans un conteneur étanche à la poussière pour assurer un environnement sans poussière. Enfin, PAS 5500/100D dispose également d'une interface conviviale pour un fonctionnement facile. Cela comprend une interface utilisateur graphique interactive (interface graphique) qui permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres et paramètres en fonction de leur application particulière. La machine dispose également d'un logiciel de diagnostic qui peut être utilisé pour analyser les opérations de la machine et détecter les erreurs ou les défauts. En conclusion, PAS 5500/ 100D est un pas de plaquette fiable et de précision conçu pour répondre aux exigences les plus strictes de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Il offre un tissage efficace et précis des plaquettes avec un débit élevé et une large gamme de fonctionnalités, y compris une machine de contrôle de mouvement robuste, un outil optique avancé, un atout précis de contrôle de l'environnement, et une interface conviviale.
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