Occasion ASML PAS 5500 / 1100 #293655010 à vendre en France

ASML PAS 5500/1100 est un outil de contrôle de mouvement et de métrologie pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil pas à pas de classe de production équipé d'un système de lithographie étape et répétition d'un substrat par processus. Le PAS 5500/1100 utilise une lampe halogène à quartz d'une puissance de 135W pour imprimer sur une plaquette. La lampe fonctionne dans la gamme ultraviolette (UV), offrant des capacités de lithographie optimales. Les plaquettes sont balayées à l'aide de moteurs galvano linéaires, qui ont une très haute précision, fournissant un motif imprimé précis et cohérent sur le substrat. Afin de s'assurer que le motif imprimé est fidèle à la conception, le PAS 5500/1100 est également équipé d'un interféromètre laser, qui mesure l'écart du motif imprimé par rapport aux critères établis. Le PAS 5500/1100 fournit également un dispositif d'alignement spécialisé qui lui permet d'aligner précisément le motif sur une gamme de différents types de plaquettes. Ceci est rendu possible par une combinaison d'imagerie de contraste, d'atténuation de focalisation et de détermination de l'angle de flanc. Le chevauchement des modèles est encore renforcé par l'utilisation de marques d'alignement, qui servent de points de référence fiduciaires pour la mesure et l'alignement. Les mesures d'intensité, l'imagerie de contraste et les fiduciaires sont vérifiées en continu pendant l'alignement. Avec son débit ultra rapide, le PAS 5500/1100 offre également une plate-forme idéale pour le contrôle de processus avancé. Le système peut détecter les variations de processus et les signaux d'avertissement de sortie bien avant que l'étape du processus soit terminée. Cela permet aux ingénieurs de prendre des mesures correctives avant la production de plaquettes non conformes. Enfin, le PAS 5500/1100 est conçu avec un faible coût total de propriété à l'esprit. Ceci est réalisé par sa capacité à réduire le temps de trajet entre les étapes du procédé, à réduire le nombre d'opérations de maintenance, et en optimisant le temps de transfert du substrat à travers l'étage de la plaquette. Combiné à sa taille compacte, à sa grande précision et à son fonctionnement sans arrêt, le PAS 5500/1100 est une solution idéale pour la production de dispositifs semi-conducteurs à haut volume.