Occasion ASML PAS 5500 / 1100B #293763327 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 1100B wafer stepper est un équipement de lithographie avancé utilisé pour la production de semi-conducteurs à haut volume. Il est conçu pour représenter avec précision les caractéristiques jusqu'au niveau de 13 nanomètres (nm). Il peut manipuler des tailles de plaquettes jusqu'à 450mm et fournir des résolutions de 0,4 micromètres. Ce système est basé sur la dernière douzième génération ASML PAS 5500 stepper la technologie et la quatrième génération ASML 1100B l'unité de lithographie. La conception innovante combine la précision et la précision d'un étage de photomasque à balayage optique avec la répétabilité d'un étage mécanique, ce qui donne un débit élevé et un niveau de fiabilité impressionnant. PAS 5500/ 1100B utilise une machine d'optique macro-champ, qui permet une imagerie haute résolution sur une grande surface, éliminant la nécessité de repositionner le masque en moyen balayage. Son outil optique de pointe comprend également un condenseur triple-super Achromat, des ouvertures et des asphériques, qui fournissent ensemble une netteté et un contraste extrêmes pour les images de contraste élevé. Le pas de plaquette est conçu pour réduire l'exposition, ce qui signifie qu'il peut représenter plusieurs couches en une seule prise de vue. L'actif dispose également d'un contrôle auto-focus et offre une surveillance de focus intégrée pour s'assurer que chaque couche est dans le bon focus. Ce modèle utilise des technologies de pointe, telles que l'alignement breveté du masque de déphasage, le balayage global, le masquage actif et le revêtement de lumière arrière. Afin d'assurer un alignement précis pendant le processus d'exposition, le pas de plaquette utilise également un équipement de surveillance de position précis. Ce système se compose d'un codeur, d'un lecteur magnétique et d'un robot pick-and-place qui maintient l'origine de la scène. ASML PAS 5500/ 1100B est également équipé d'une variété de dispositifs de sécurité pour protéger l'équipement contre les dommages en cas de panne de courant ou d'autres conditions inattendues. Il s'agit notamment d'un moniteur de réseau électrique, d'un moniteur de sortie de chauffe et d'un moniteur de température. De plus, une série d'anneaux de dissipation électrostatique (ESD) protègent l'unité des dommages radioactifs. Dans l'ensemble, PAS 5500/ 1100B wafer stepper est une machine puissante et précise qui est conçu pour gérer la production de semi-conducteurs à haut volume. Sa conception innovante et ses fonctionnalités avancées contribuent à fournir des performances efficaces et un fonctionnement fiable, ce qui en fait un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs.