Occasion ASML PAS 5500 / 125E #9188743 à vendre en France

ASML PAS 5500 / 125E
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 125E
ID: 9188743
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2011
i-Line stepper, 8" 2011 vintage.
ASML PAS 5500/ 125E est un équipement commercial haut de gamme de 6e génération développé par ASML, leader dans les outils et services de lithographie. Ce système intègre le meilleur des deux mondes - la technologie avancée d'étape de 6e génération qui promet des performances d'imagerie exceptionnelles, le contrôle de la lithographie et l'alignement de précision et le module de balayage PAS (PAS 5500/ 125E) des générations précédentes, qui permet un débit et une précision élevés. ASML PAS 5500/ 125E dispose d'un laser excimère au fluorure de krypton (KrF), capable de produire un arc de lumière jusqu'à 85 millimètres (mm) de diamètre et une longueur d'onde de 248 nanomètres (nm). Ce laser produit un faisceau lumineux finement collimaté capable d'éclairer une grande surface, ce qui le rend idéal pour des applications nécessitant précision et précision, telles que la production de micropuces. L'unité dispose de la technologie de 6e génération la plus avancée, y compris la cartographie de dose avancée (DMA) et le contrôle de résistance avancé (RCA), qui sont essentiels pour contrôler la dose d'exposition de la photorésist, ainsi que la gestion de la résolution et du contraste dans les photomasques. En outre, la nouvelle machine de 6e génération offre un alignement intégré amélioré, en utilisant une combinaison de systèmes d'alignement laser à commande logicielle et de moniteurs d'affichage. Ces caractéristiques avancées se traduisent par une augmentation de la productivité et de la précision. En outre, PAS 5500/ 125E utilise la technologie avancée ASML « spiral-scanning » pour transférer l'image d'un masque imprimé sur la plaquette semi-conductrice. Dans ce processus, le dispositif éclaire une spirale de taches de « fréquence spatiale » sur la plaquette, en développant une carte topographique que le dispositif est continuellement capable de réajuster. Ceci assure que l'imagerie est sans distorsion tout au long du balayage, obtenant une résolution uniforme dans toute la tranche semi-conductrice. ASML PAS 5500/ 125E dispose également d'un outil de mise au point automatique, qui permet de suivre constamment la position de la plaquette et de maintenir une image uniforme et claire. De plus, l'actif comprend un mécanisme de synchronisation environnementale, qui assure une température et une humidité constantes dans les chambres du modèle. Cela permet de prolonger la durée de vie globale de l'équipement et de maintenir un rendement constant. En résumé, PAS 5500/ 125E est un système d'amplificateur commercial haut de gamme équipé de la technologie d'amplificateur de 6e génération la plus avancée et du module d'analyse ASML PAS 5500/ 125E. Il offre une précision et une précision d'imagerie élevées grâce à des fonctionnalités avancées telles que la cartographie des doses, la résistance au contrôle, l'alignement en filière, le balayage en spirale, l'auto-focus et un mécanisme de synchronisation environnementale.
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