Occasion ASML PAS 5500 / 200 #293817870 à vendre en France

ASML PAS 5500 / 200
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 200
ID: 293817870
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.48-0.60 Resolution: 350 nm DCO: 50 Throughput (WPH): 80.
L'ASML PAS 5500/200 est un pas de plaquette haut de gamme fabriqué par la société de technologie néerlandaise ASML. Elle est principalement utilisée par les fabricants de semi-conducteurs et de circuits intégrés dans le processus de photolithographie, où un motif lumineux est projeté sur un substrat tel que des plaquettes de silicium pour reproduire des motifs précis jusqu'à des échelles nanométriques. L'étape peut aligner, exposer et inspecter les composants électriques sur une plaquette en moins de sept secondes. Il a une précision du système de 0,4 micromètre et fonctionne avec une ouverture numérique de 0,7. La machine dispose d'un spectre source lumineux et réglable de 254 à 365nm, avec une dose sélectionnable de 0,1 à 2500 mj/cm2, et 0,2 à 500 ms temps d'exposition. ASML PAS 5500/200 dispose de deux amortisseurs de vibrations externes, ce qui le rend adapté aux dispositifs optiques complexes, ainsi qu'un étage de réticule et de plaquette rapide, ce qui permet d'autres processus plus rapides et plus précis. Il est capable de manipuler des plaquettes d'une taille allant jusqu'à 200mm. PAS5500/200 est équipé d'un système de contrôle automatisé qui est conçu pour réduire le temps de l'opérateur et améliorer les résultats du flux de travail. Ce système est capable de corriger automatiquement la distorsion d'image et d'autres erreurs, permettant d'utiliser une précision d'alignement de couche unique de 2 microns et une précision d'alignement multicouche de 1 micron, ainsi qu'un contrôle de température de -10 à 50 degrés Celsius. D'un point de vue opérationnel, le stepper est assez convivial, nécessitant un minimum de connaissances techniques pour fonctionner correctement. Il est équipé d'une interface graphique tactile, de paramètres informatisés de configuration des tâches et d'un large éventail de données diagnostiques facilement accessibles. Dans l'ensemble, ASML PAS5500/200 est un pas de plaquette très apprécié et fiable qui fournit des solutions de photolithographie sécurisées, précises et rentables aux fabricants de semi-conducteurs et de circuits intégrés. L'interface conviviale de la machine, sa précision impressionnante et ses excellentes capacités de contrôle de mouvement garantissent qu'elle restera un équipement essentiel dans les lignes de production de ces entreprises pour les années à venir.
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