Occasion ASML PAS 5500 / 200 #9232850 à vendre en France

ASML PAS 5500 / 200
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 200
ID: 9232850
Stepper.
ASML PAS 5500/200 est un pas de plaquette utilisé pour la fabrication de lithographies dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil est conçu pour aider à créer des motifs dans les semi-conducteurs, permettant aux fabricants de créer des transistors, de la mémoire et des microprocesseurs avec des largeurs de lignes agressives de 0,10 micromètres ou moins. Le stepper est composé de quatre composants principaux : une unité d'accélération, une unité de commande, une unité d'optique et une unité de plate-forme mobile. L'unité d'accélération commande les coordonnées de la plaquette, l'unité de commande exécute le programme associé au motif lithographique, l'unité d'optique est responsable de l'imagerie du motif sur la plaquette, et l'unité de plate-forme mobile est chargée de déplacer la plaquette dans les directions X et Y. Les quatre unités sont reliées entre elles et chaque unité dispose d'un certain nombre de capteurs et d'actionneurs chargés des informations de rétroaction. L'équipement optique de l'ASML PAS 5500/200 dispose d'une combinaison unique de lentilles et de miroirs conçus pour représenter la surface de la plaquette. Une plaquette est maintenue en place pendant l'exposition par un porte-échantillon, avec l'aide d'un système A4 (mode d'alignement avancé). Les quatre composants combinés garantissent la précision et la vitesse jusqu'à une position d'une fraction de micron. Une colonne de vide forme l'extension de la chambre à vide, ce qui crée un environnement de basse pression dans lequel la plaquette est maintenue, assurant un excellent placement, une imagerie de haute qualité et une plus grande fidélité au motif. Le stepper a une taille de plaquette programmable de 6 pouces, ce qui le rend idéal pour la production de circuits intégrés à plus petite échelle, ainsi qu'un temps d'exposition maximum de 5 secondes. Sa vitesse de repérage est nettement plus rapide que les modèles des concurrents, et le PAS 5500 est également capable de produire des résultats plus précis. De plus, le stepper est équipé d'un algorithme de profil de focalisation inverse qui peut modéliser avec précision le comportement du PAS 5500 en réponse aux changements de vecteurs pour fournir un meilleur contrôle de focalisation et une meilleure stabilité pendant les phases d'intégration et d'exposition. PAS5500/200 est livré avec une unité intégrée de centrage et de suivi des plaquettes, assurant un positionnement précis des plaquettes sur le point de focalisation de la machine. Ceci permet de traiter des plaquettes de toutes tailles, même celles de tailles non standard qui peuvent être difficiles à réaliser. En outre, PAS 5500/200 a un mode de recette avancé qui permet de modeler avec précision dans le processus de micro-fabrication et la lithographie haut de gamme. Dans l'ensemble, PAS 5500/200 est un pas de tranche très précis qui a été conçu pour améliorer les rendements, augmenter le débit et réduire les temps de production. Son utilisation de technologies et de composants sophistiqués en font le choix idéal pour les fabricants à la recherche d'une lithographie fiable, précise et performante.
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