Occasion ASML PAS 5500 / 200B #293804503 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 200B est un type de wafer stepper, également connu comme un équipement de lithographie de voie pas à pas. Il est utilisé dans les installations de photolithographie pour créer des circuits intégrés pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système y parvient grâce à une combinaison de lumière et de masques qui déposent le motif sur la surface de la plaquette. PAS 5500/ 200B a une taille totale de pas de 2 mètres sur 1,5 mètres et est capable de gravir une plaquette jusqu'à 200 mm de diamètre, tout en obtenant 1,2 μ m précision d'enregistrement dans la direction x et y. Il utilise une haute résolution, l'éclairage à large bande avec une énergie photonique allant de 246 à 1064 nm, et une plage de zoom optique de 16x. L'unité peut fournir diverses ouvertures numériques allant de 0,45 à 1,35. Avec cette gamme, il peut créer une variété de tailles de fonctionnalités et de capacités de survol avec une précision allant de 150 nm à 30 μ m et une profondeur de focalisation allant de 8 μ m à 28 μ m respectivement. L'ASML PAS 5500/ 200B utilise une machine de commande à 3 axes en boucle fermée qui synchronise les colonnes et permet l'impression de motifs haute résolution. Ses deux axes motorisés de vitesse sont entraînés par des vis à billes de précision, capables de fournir une précision de positionnement élevée de manière rapide et fiable. L'outil dispose également d'une haute résolution, d'un outil de rétroaction de position et d'une fonction de contrôle de l'humidité en boucle fermée. Le modèle est capable de contrôle de recouvrement agressif et de débit rapide, permettant un cycle de production en volume accéléré. Son logiciel SoftRecipe intégré offre une interface utilisateur conviviale et intuitive pour un fonctionnement et une maintenance faciles. En outre, il fournit à la fois des caractéristiques graphiques ainsi que des fonctions d'analyse statistique et géométrique avancées. Enfin, PAS 5500/ 200B intègre un protocole de sécurité standard complet qui aide à minimiser le risque d'événements liés à la sécurité. Chacun de ses composants est conçu et testé selon les normes de sécurité les plus élevées de l'industrie, avec des dispositifs de sécurité de pointe, fonctionnant avec les derniers mécanismes de contrôle de sécurité. Avec ces caractéristiques de sécurité avancées, ASML PAS 5500/ 200B est un équipement fiable et très efficace de lithographie pas à pas.