Occasion ASML PAS 5500 / 250 #293817869 à vendre en France

ASML PAS 5500/250 est un scanner de lithographie étape-répétition en plein champ construit par la société néerlandaise Advanced Semiconductor Materials Litechnology (ASML). Il est utilisé dans la réalisation de circuits intégrés semi-conducteurs et autres dispositifs micro-électroniques. L'étage est constitué d'une structure isolée, d'un ensemble optique de grande précision et de longue durée, et d'un équipement de commande informatique. La structure isolée isole les vibrations de l'environnement, ce qui assure que l'alignement et la position de l'optique du masque à la plaquette restent précis. L'ensemble optique contient un module de manipulation robotique des plaquettes et des masques, 3 miroirs avec encodeurs de précession, plusieurs lentilles, deux scanners galvanométriques pour la déviation des faisceaux et deux unités d'étirage d'images numériques. Le système optique combiné, avec un angle minimum d'acceptation des lentilles de 5 degrés, a une résolution de 0,25 microns pour les fonctions de mesure et de recouvrement en IC. L'unité de contrôle est conçue pour contrôler, surveiller et enregistrer les fonctions d'étape. Il se compose d'une interface utilisateur graphique (interface graphique) avec lunettes codées en couleur pour signifier l'état du processus, un menu de fonction de haut niveau, et clavier codé en couleur. La machine est également équipée d'un outil de contrôle automatique de distance (ADC), qui utilise des algorithmes de reconnaissance d'image pour ajuster la distance entre le masque et la plaquette au besoin. ASML PAS 5500/250 stepper est capable de traiter des substrats jusqu'à une taille de 8 pouces (200 mm), avec des débits jusqu'à 395 plaquettes par heure. Il est également disponible avec un large éventail d'options qui peuvent améliorer à la fois la performance et le débit du processus, y compris le codeur/développeur intégré, une chambre de serrure et des installations de lavage/mesure des plaquettes. En résumé, PAS 5500/250 est un scanner de lithographie à phase et répétition plein champ utilisé dans la production de circuits intégrés et d'autres dispositifs micro-électroniques. Il dispose d'une structure isolée, d'un ensemble optique de haute précision et d'un outil de contrôle informatique, pour assurer la précision souhaitée du processus de mise en forme et d'alignement. L'étage est également capable de traiter des substrats jusqu'à 8 "de taille, avec des débits jusqu'à 395 plaquettes par heure.