Occasion ASML PAS 5500 / 250 #9166553 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 250
ID: 9166553
Taille de la plaquette: 8"
i-Line stepper, 8" ARMS Option Image field size: X: 22.0 mm Y: 22.0 mm Diameter: 31.1 mm Steps: X: 11 Y: 11 Measurement type: Sample mode Lamp power (W): 3150.0 Samples per position: 50 Apply REMA window: Yes Load reticle: N Illumination mode: Annular Numerical aperture: 0.58 Sigma outer: 0.800 Inner: 0.450 Uniformity measurement result: Uniformity (%): 1.79 Logfile: LI / LIUM / waf.941 (121) Measurements Tilt: X (% / field): 0.74 Y (% / field): -0.18 Overall average: Ratio: 1.00 Standard deviation: 0.01 Intensities spot sensor (mW / cm2): 1706.65 Standard deviation: 12.48 Intensities energy sensor (mW / cm2): 1706.75 Standard deviation: 5.10 Lamp time lit (hour): 1866:42 Estimated uniformity from measured data (%): If corrected: Actual tilts: 1.78 Gradient filter: 1.54 Tilts and with gradientfilter: 1.26 Symmetric uniformity value (%): -0.52 Currently installed.
ASML PAS 5500/250 est un pas de plaquette sophistiqué conçu pour les tâches de lithographie au niveau de la production dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un équipement de numérisation de nouvelle génération (NGS) qui peut traiter jusqu'à 25 plaquettes par heure avec une résolution de 0,25 microns. Ce pas de plaquette fournit le plus haut niveau de débit et de résolution dans sa classe. Au cœur du système se trouve une lentille de balayage avancée qui utilise une configuration multi-scanner à 8 canaux. Cette configuration permet un débit beaucoup plus élevé que les autres paliers, ce qui en fait un choix idéal pour les fabricants qui cherchent à maximiser la vitesse de production. La lentille fournit une résolution minimale de 0,25 micron, ce qui est nécessaire pour de nombreux procédés lithographiques dans la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. L'unité intègre également une caractéristique unique appelée Advanced Dispersive Optics (ADO). C'est une technologie qui utilise une combinaison de plusieurs lentilles et miroirs pour faciliter une meilleure résolution d'image. Cette technologie aide à éliminer les aberrations et à améliorer la résolution, permettant à l'étape de maintenir son haut niveau professionnel de précision. En outre, l'ASML PAS 5500/250 a une gamme de fonctions de support. Par exemple, il dispose d'une machine automatisée de chargement de plaquettes ainsi que d'une variété de caractéristiques pour assurer un alignement très précis de la plaquette. Il dispose également d'un outil de refroidissement intégré pour une efficacité et une durée de vie maximales des lentilles et des composants. Le stepper est également équipé d'une interface graphique complète (interface utilisateur graphique) qui simplifie le fonctionnement et la programmation. Il est ainsi facile pour les débutants de se familiariser rapidement avec l'actif, ce qui leur permet d'effectuer facilement des tâches de lithographie complexes. PAS 5500/250 est un pas de plaquette puissant et fiable, offrant aux fabricants les plus hauts niveaux de débit et de résolution dans sa classe. Sa technologie ADO et ses fonctions de support complètes en font un excellent choix pour les applications de lithographie de haute précision.
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