Occasion ASML PAS 5500 / 250C #293811101 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 250C est un pas de plaquette de qualité professionnelle très avancé conçu pour les applications avancées de semi-conducteurs. Il est utilisé dans la réalisation de circuits intégrés et autres dispositifs microélectroniques connexes. L'équipement se compose d'un certain nombre de composants, dont un ordinateur central, des dés et des chuckers, une unité de contrôle informatique, un système d'alignement optique, un équipement de manutention des plaquettes, ainsi que des moteurs et des entraînements. L'ordinateur central est responsable du contrôle de l'ensemble de l'unité, tandis que les robots de manutention et de dépoussiérage manipulent les transferts de la plaquette. L'unité de contrôle informatique est chargée d'envoyer des commandes à chaque composant de la machine et de maintenir les données pour le chargement/déchargement des plaquettes, l'accord des outils et l'étalonnage. L'actif d'alignement optique est utilisé pour mesurer la position des plaquettes avec précision et précision, et consiste en un étage motorisé pour l'alignement, deux interféromètres laser, un processeur de signal numérique (DSP) pour la mesure du désalignement, et un moniteur. L'équipement de manutention de la plaquette se compose d'un ascenseur, d'un étage de translation XY et d'un ascenseur à cassettes, qui aident à positionner la plaquette avec précision sur les étages de la plaquette. Les moteurs et les entraîneurs sont chargés de fournir un mouvement précis aux moteurs d'alignement, aux composants de l'ordinateur central et aux robots de manutention des plaquettes. Le modèle offre une variété de caractéristiques, telles qu'un champ de vision de 50 mm avec une capacité de déplacement de 21 mm, une précision de 7nm de quel emplacement, et une précision de 0,2 μ m de quel alignement. En outre, il a une vitesse allant jusqu'à 12 plaquettes par minute, et est capable de loger à la fois 300 mm et 200 mm wafer tailles. PAS 5500/ 250C est capable de travailler dans des environnements de production par lots et en continu, offrant un certain nombre d'avantages par rapport aux marches traditionnelles, tels qu'un rendement et une efficacité améliorés, un débit plus rapide et des opérations plus fiables. En fournissant de nombreuses fonctionnalités automatisées et semi-automatisées, il est bien adapté pour une production à haut volume, assurant que le processus est terminé en temps opportun et avec des résultats de la plus haute qualité.