Occasion ASML PAS 5500 / 250C #9265786 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 250C est un pas de plaquette, un outil utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour fabriquer des composants électroniques microscopiques sur une plaquette de silicium. Les spécifications techniques de l'équipement commencent par sa taille de champ maximale, avec une version récente offrant un champ lumineux de 250 mm de diamètre. De plus, son optique peut être configurée pour supporter à la fois les scanners de coupure et les optiques pas-à-pas, avec des résolutions inférieures à 0,3 microns. PAS 5500/ 250C pas comprend un ou deux étages plats flottants ainsi qu'un système de commande de mouvement à 7 axes. Les étages plats de table offrent une précision d'alignement et de positionnement supérieure pour le traitement die-to-die, tandis que l'unité de contrôle de mouvement permet des mouvements X, Y et Z rapides et précis. La machine d'éclairage du stepper dispose à la fois d'un outil d'exposition laser et d'une optique i-line avancée. L'actif d'exposition laser peut être utilisé pour supporter à la fois les techniques de masque laser et d'écriture laser directe (DLW), et dispose d'une source ARF (fluor atomique) de 13,56 MHz 25 watts et d'un modèle de contrôle de mouvement 3 axes. L'optique i-Line supporte 0,6 et 0,8 micron de fonctionnement, et est capable d'exposer de grandes tailles de plaquettes en une courte quantité de temps, avec une taille totale maximale de substrat de 8 pouces. L'optique offre la possibilité de basculer entre le balayage et les modes rectilignes sans modification mécanique de l'optique. L'ASML PAS 5500/ 250C comprend également une structure d'options modulaires avec des modules pour la métrologie in situ, l'alignement des contacts et un module de pré-alignement. L'équipement dispose également d'une plate-forme basée sur Windows pour toutes les activités de configuration, d'exploitation et de maintenance. Cela permet aux utilisateurs de travailler avec des interfaces graphiques intuitives, ainsi qu'avec des outils d'intégration dédiés à l'automatisation secondaire. PAS 5500/ 250C est un système avancé conçu pour fournir aux entreprises de semi-conducteurs des capacités de modélisation et d'imagerie de précision pour une variété de procédés industriels. Grâce à ses caractéristiques et capacités de pointe, l'unité est capable de créer des composants extrêmement précis pour différents types d'appareils électroniques.