Occasion ASML PAS 5500 / 275D #9188744 à vendre en France

ASML PAS 5500/ 275D wafer stepper est un appareil de photolithographie à projection par ordinateur à double faisceau. Il est utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs (tels que les CI et les MEMS). Le stepper dispose de deux sources lumineuses - un faisceau laser KrF excimer de 248 nm de longueur d'onde et une lumière ArF excimer de 193 nm de longueur d'onde - qui sont modulées pour se concentrer sur la zone cible sur le substrat. Les sources lumineuses permettent des opérations de lithographie haute résolution avec une taille minimale de 0,18 μ m. Le PAS 5500 comporte un système d'étage de plaquettes qui positionne la plaquette dans le trajet de la poutre et fait tourner la plaquette pour aligner chaque filière avec la poutre. Cette unité d'étage de plaquettes est capable de vitesse et de précision de l'ordre de nanomètres et secondes. De plus, la machine est conçue pour fonctionner à des températures aussi basses que 16ºC. L'outil est capable d'obtenir une précision submicronique grâce à l'utilisation d'un atout d'alignement bidimensionnel. Ce modèle utilise un étage trois axes et quatre caméras CCD pour assurer l'enregistrement précis de la plaquette avant l'exposition. ASML PAS 5500 utilise une tête de balayage à cinq axes, double MST (traducteur d'étages mécaniques) pour modeler la plaquette de manière plus efficace. Le PAS 5500 est équipé d'un équipement d'imagerie avancé qui permet l'imagerie haute résolution des microstructures sur la plaquette. Cela comprend une micro-optique et un système d'imagerie en optique multicouche, avec une NA (ouverture numérique) jusqu'à 0,5. L'unité dispose également d'une suite logicielle dédiée à la numérisation pour le traitement et l'inspection des plaquettes. Cela comprend l'outil de numérisation pour le positionnement automatique des plaquettes, l'outil Stepper pour l'alignement automatique des motifs et l'outil d'exposition pour l'exposition automatisée. La suite logicielle permet un contrôle convivial des processus, réduisant le temps et l'intervention humaine. Dans l'ensemble, PAS 5500/ 275D est un pas de projection à double faisceau de qualité industrielle conçu pour des applications de lithographie de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses caractéristiques se combinent pour le traitement avancé des plaquettes, permettant la production de circuits intégrés avec un débit plus rapide et des rendements plus élevés.