Occasion ASML PAS 5500 / 300 #293814115 à vendre en France

ASML PAS 5500/300 est un équipement entièrement automatisé de pas de plaquettes conçu pour fournir des solutions pour la fabrication de circuits intégrés. Le système offre une plate-forme d'alignement, de lithographie et de métrologie (mesure) pour les plaquettes. Wafer steppers fournissent lithographie pour la fabrication d'appareils sur les plaquettes, avec des temps de cycle rigoureux et des exigences de haute précision de placement et de superposition. L'unité se compose des composants matériels et logiciels pour exécuter le processus de lithographie, y compris plusieurs composants clés. Tout d'abord, un stepper est conçu pour déplacer la plaquette à travers plusieurs étapes de l'imagerie lithographique et de l'ébauche. Le stepper contient plusieurs éléments matériels, tels qu'une colonne pas à pas, un étage de plaquettes et une lentille. La colonne pas à pas est conçue pour déplacer précisément la plaquette sous la lentille et l'image sur la surface de la plaquette. L'étage de plaquette est conçu pour maintenir la plaquette en place pendant les processus d'imagerie et peut être ajusté mécaniquement pour différentes dimensions de plaquette. La lentille peut être échangée contre différents types de lentilles et niveaux de puissance pour différentes couches sur la plaquette. Les composants optiques de la machine permettent un alignement très précis du motif de lithographie sur la plaquette. Un générateur de motifs génère une représentation électronique du motif à appliquer sur la surface de la plaquette. Les capteurs optiques peuvent détecter les caractéristiques de surface de la plaquette afin d'aligner le motif sur elle. Le motif est ensuite gravé sur la plaquette à l'aide d'une optique laser. Les outils de métrologie de l'outil sont également utilisés pour mesurer les circuits montés sur la plaquette. Ces outils comprennent des scanners optiques, capables de mesurer avec précision les dimensions du motif sur la plaquette. L'actif contient également plusieurs types de systèmes de caméras pour fournir une image de la plaquette une fois l'imagerie et le balisage terminés. ASML PAS 5500/300 est une machine pas à pas polyvalente capable d'effectuer une large gamme de tâches de lithographie avec une très grande précision. D'un point de vue industriel, c'est une plate-forme fiable avec un temps de cycle extrêmement rapide et des capacités d'alignement et de répondre aux exigences de superposition exigeantes. Le modèle offre une approche polyvalente de la fabrication de circuits intégrés et est bien adapté à de nombreuses applications de l'industrie.