Occasion ASML PAS 5500 / 300 #293817868 à vendre en France
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ID: 293817868
DUV Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.40-0.57
Resolution: 250 nm
DCO: 40
Throughput (WPH): 80.
ASML PAS 5500/300 est un pas de plaquette fabriqué par ASML. C'est un système complet capable de produire des produits de microcircuiterie de précision sur une seule plaquette dans un processus automatisé et fiable. L'ASML PAS 5500/300 se compose de systèmes avancés de transmission de mouvement, d'étage, d'optique et de contrôle, lui permettant d'offrir des capacités de traitement des plaquettes très précises. Sa conception de scène, optimisée pour une grande vitesse et une grande précision, maintient la rigidité et la stabilité thermique pour fournir une précision de placement de précision à basse fréquence de vibration et peu de dérive thermique, fournissant des résultats stables sur plusieurs étapes de traitement. Le PAS 5500/300 dispose d'un étage de précision motorisé pour le plus haut niveau de précision et de répétabilité dans le plan. Cette étape est animée par 3 systèmes de moteurs linéaires indépendants et sans réaction et permet un positionnement rapide et précis. Les systèmes optiques et de projection du PAS 5500/300 présentent une résolution et une répétabilité avancées, produisant des profils pointus et un enregistrement de haute précision. Il a également une large gamme de longueurs d'onde allant de l'ultraviolet à la lumière infrarouge lointaine, fournissant la compatibilité avec une variété de matériaux. ASML PAS 5500/300 intègre également des systèmes de contrôle avancés pour un fonctionnement précis et fiable. Cela comprend un contrôleur de précision et un système de mesure et de rétroaction entièrement automatique en temps réel qui permet une grande répétabilité sur plusieurs procédures, même dans des processus complexes. En conclusion, ASML PAS 5500/300 est un pas de plaquette très précis capable de produire des microcircuiteries sur une seule plaquette dans un processus automatisé et fiable. Il dispose d'un étage de précision, de systèmes de projection et d'un système de contrôle en temps réel pour garantir une répétabilité, une précision et une fiabilité élevées sur plusieurs procédures.
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