Occasion ASML PAS 5500 / 300 #9188016 à vendre en France

ASML PAS 5500/300 est un pas de plaquette de haute précision pour la lithographie. Il s'agit d'une imprimante optique de projection, composée d'une source lumineuse de forte puissance, d'éléments optiques de précision et d'un équipement d'étage qui suit un motif de mouvement prédéterminé. L'étape de la plaquette fonctionne en revêtant d'abord la plaquette d'un matériau sensible à la lumière appelé photorésist. Ensuite, un masque à grande échelle contenant un motif généré par ordinateur est placé entre la source lumineuse et la plaquette. La source lumineuse éclaire le motif qui est à son tour projeté sur la plaquette. Le système de l'étage de précision déplace alors la plaquette par rapport au masque, permettant des changements de focalisation et de position minuscules pour assurer un transfert précis de chaque image successive. Une telle précision est cruciale pour aligner les petits éléments de circuit, car la plaquette est projetée avec des motifs successifs. Dans le cas de l'ASM ASML PAS 5500/300, la précision est assurée par l'utilisation d'un mouvement combiné Piezo avancé. Cette unité affine la position et la vitesse exactes de la machine à étages à tout moment, assurant le plus haut degré de précision sans compter sur un régulateur de pression ou une masse mobile importante. En plus de sa précision impressionnante, PAS 5500/300 dispose d'une méthode d'imagerie à double fréquence (DFL) propriétaire. Cette méthode combine deux systèmes d'imagerie totalement indépendants dans un axe, permettant d'augmenter les temps d'exposition, ce qui se traduit par une photolithographie plus efficace. En conclusion, PAS 5500/300 est un pas de plaquette de haute précision spécialement conçu pour la photolithographie. Avec son Piezo avancé combinant le mouvement et l'imagerie à double fréquence, ASML est le choix parfait pour toute application qui nécessite le plus haut degré de précision.