Occasion ASML PAS 5500 / 300C #144388 à vendre en France

ASML PAS 5500/300C est un pas de plaquette de pointe conçu pour réduire les coûts de fabrication et améliorer l'efficacité des procédés. Il s'agit d'un pas de projection optique de 25 nm + en 5 étapes avec une précision de processus maximale de ± 0,8 μ m. Le 300C dispose d'une grande interface utilisateur LCD qui le rend simple à configurer et à utiliser. De plus, son équipement d'alignement entièrement automatisé permet aux utilisateurs de vérifier rapidement et précisément l'orientation des plaquettes avant chaque étape d'exposition. Le 300C utilise un système avancé de projecteur à cinq masques, capable d'imiter de grands champs de vision à grande vitesse. L'unité de projection à cinq masques se compose d'une seule source lumineuse maître-incident et de quatre détecteurs maître-incident. La source lumineuse maître-incident est chargée de produire cinq images optiques qui sont utilisées pour l'imagerie de grands champs de vue sur la plaquette. De plus, cette technologie permet une plus grande vitesse et précision que les systèmes traditionnels de projection à simple masque. De plus, le 300C est équipé de fonctions d'appariement et de superposition de motifs améliorées, permettant un alignement rapide et précis de plusieurs images. En plus de la projection d'images et de la reconnaissance de motifs, le 300C utilise une technologie brevetée d'imagerie à haute résolution à plusieurs étages. Cette technologie utilise deux étapes distinctes pour acquérir une imagerie de haute qualité de la plaquette à chaque étape du procédé. La première étape acquiert le motif projeté et la deuxième étape acquiert les informations de focalisation nécessaires pour bien focaliser le motif. Le 300C utilise une machine optique divisée avancée. Cet outil utilise deux systèmes optiques distincts, permettant aux utilisateurs de maintenir une résolution et une précision maximales tout au long du processus. De plus, l'actif optique divisé diminue le temps de balayage en maintenant la même intensité lumineuse pendant toutes les étapes du processus. Le 300C utilise un scanner à faisceau de haute précision qui permet une imagerie d'ultra haute précision à des vitesses allant jusqu'à 5 μ m/seconde. Le panneau optique laser plan parallèle permet d'obtenir la plus grande précision possible lors de l'imagerie de grands champs de vision. De plus, cette technologie peut être utilisée pour l'imagerie de motifs complexes et l'alignement de masques. Dans l'ensemble, ASML PAS 5500/300C est un pas de plaquette avancé qui fournit une grande précision et des performances. Sa technologie brevetée d'imagerie à plusieurs étages, ses systèmes optiques doubles et son scanner à faisceau de haute précision permettent aux fabricants d'obtenir des rendements de meilleure qualité avec un meilleur débit et des économies de coûts accrues.