Occasion ASML PAS 5500 / 300C #9197509 à vendre en France

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ASML PAS 5500 / 300C
Vendu
Fabricant
ASML
Modèle
PAS 5500 / 300C
ID: 9197509
Taille de la plaquette: 6"
DUV Stepper, 6".
ASML PAS 5500/300C est un pas de plaquette entièrement automatisé utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil est conçu pour fabriquer des puces de circuits intégrés complexes avec des motifs ultra-précis, en utilisant des sources lumineuses ultraviolettes profondes (DUV) qui peuvent être scannées pour exposer avec précision les plaquettes revêtues de photorésist. ASML PAS 5500/300C offre une vitesse de traitement élevée et une uniformité supérieure pour les conceptions de puces les plus avancées, avec la capacité de traiter des centaines de plaquettes en une fraction du temps qu'il faudrait un équipement pas à pas manuel pour accomplir les mêmes tâches. Son principal avantage est son système de lithographie haute performance qui offre une focalisation extrêmement serrée et une exposition précise tout au long du processus. Ceci est réalisé grâce à son logiciel et matériel de pointe, y compris un scanner optique avec un grand champ de vision, des capteurs intégrés, et un étage motorisé pour un placement précis des plaquettes. Le grand champ de vision du scanner permet à PAS 5500/300C de traiter à la fois les petits et les grands travaux en même temps, réduisant considérablement le temps de traitement. En outre, PAS 5500/300C a une lentille d'aplatissement de champ qui permet d'établir des variations de motifs sur l'ensemble du champ de vision. ASML PAS 5500/300C est également conçu avec plusieurs fonctionnalités qui augmentent son efficacité globale. Par exemple, la procédure « pré-alignement » aligne rapidement l'orientation de la plaquette, puis la procédure « auto-centrage » recentre rapidement et aligne optiquement le motif de la résine photosensible. La « stratégie multi-étapes » permet à plusieurs plaquettes d'être exposées dans la même position, accélérant encore le processus, tandis que son kit de développement logiciel (SDK) donne aux utilisateurs le pouvoir de développer leurs propres recettes de processus. ASML PAS 5500/300C comprend également plusieurs autres fonctionnalités pour améliorer la flexibilité et les performances, telles que son miroir multiplexeur temporel (TMX) et sa lentille collimatrice, et son dispositif d'amincissement par plaquettes laser. De plus, une machine de focalisation automatique en option peut être ajoutée pour une précision encore plus grande. Les autres options de processus comprennent le dégagement de fond de zone, le réglage de résolution, la correction du bruit et la correction de polarisation. En résumé, PAS 5500/300C est un outil de lithographie avancé et hautement capable qui offre un certain nombre de performances, de précision et d'efficacité. Son champ de vision étendu, ses capteurs intégrés et son étage motorisé, ses systèmes logiciels et ses accessoires en option en font un outil idéal pour la production de gros volumes et la conception précise de petites puces.
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