Occasion ASML PAS 5500 / 300C #9218126 à vendre en France

L'ASML PAS 5500/300C est un équipement pas/scanner de wafer de haute performance, fabriqué par ASML. Il est conçu pour la photolithographie haut de gamme de circuits intégrés et d'autres dispositifs. ASML PAS 5500/300C offre une imagerie haute résolution sur un grand champ de vision, avec une excellente uniformité. PAS 5500/300C a une structure de conception compacte avec un cadre de base qui comprend un plateau tournant principal et une plaque à vide. La structure extérieure du système assure la protection de l'environnement et les éléments optiques sont montés rigidement pour réduire les vibrations. Les composants optiques, y compris les lentilles, sont intégrés dans la console de commande. Il dispose de canaux à quatre faisceaux avec unité d'amélioration optique et une variété de configurations d'éclairage pour la résolution fine des fonctionnalités. Pour fournir la résolution la plus élevée, PAS 5500/300C a une taille de tache laser de 1,55 micron, une précision de pointage du faisceau de 1,2 microns, et une machine de focalisation automatique avec une gamme de 0,5 à 7,5 microns. L'outil dispose d'un atout complet d'éclairage étalé pour fournir une exposition uniforme à travers le champ d'image. Il utilise également un modèle optique télécentrique inverse pour améliorer l'uniformité et la répétabilité. Le mouvement de la plaquette est commandé par un équipement de mouvement commandé par ordinateur et basé sur un pas. Ce système applique moins de force à la plaquette que les méthodes classiques et améliore l'homogénéité et la répétabilité. Il est capable d'atteindre des vitesses allant jusqu'à 17,5 mm/s, ce qui est suffisant pour la plupart des applications. L'unité peut traiter une large gamme de tailles de plaquettes et une variété de matériaux. Pour les applications spéciales, il offre également une option pour les champs de vision plus grands et les formes columnées. De plus, une fixation de plaque est intégrée pour permettre l'imagerie directe de substrats fermés. L'ASML PAS 5500/300C offre de nombreuses fonctionnalités pour fournir des performances à haut débit, comme un fichier de motif rotatif, une file d'attente de travail par lots et un outil de comparaison de motifs. Cette machine peut également créer des motifs d'image de haute précision, ce qui la rend adaptée aux applications en ligne de production. Dans l'ensemble, ASML PAS 5500/300C est un outil fiable et efficace pour répondre à une variété de besoins en photolithographie. Avec son grand champ de vision, de résolution et d'uniformité, il est adapté à une large gamme d'applications de circuits intégrés. En outre, son atout de mouvement basé sur pas à pas et ses multiples configurations d'éclairage offrent des performances de haut débit.