Occasion ASML PAS 5500 / 400 #293817861 à vendre en France

ASML PAS 5500/400 est un pas automatisé de tranche 5 axes de haute précision conçu pour la production en grand volume de composants de microlithographie. Cette étape utilise une technologie de balayage brevetée Koch/Oerlikon pour permettre un balayage précis des surfaces des plaquettes semi-conductrices pour former des motifs pour les composants semi-conducteurs avec ses capacités intégrées de balayage rapide. PAS 5500/400 dispose d'un équipement innovant de mandrin de plaquette pour permettre une manipulation et un alignement précis des plaquettes, ainsi qu'un contrôle précis de la vitesse de balayage et de l'accélération du pas. Le pas dispose également d'une commande moteur précise et répétable, permettant un guidage précis de la vitesse de balayage et de l'accélération ainsi qu'une compensation adaptative pour permettre des motifs de balayage toujours précis et reproductibles. Pour assurer une manipulation et un alignement stables des plaquettes, le pas dispose d'un système d'actionnement automatique avancé qui assure un alignement précis du mandrin sur la table mobile. L'unité optique de l'ASML PAS 5500/400 est conçue pour une très grande précision et avec un champ de focalisation 300MM (12 pouces). Il est conçu pour produire des motifs de niveau submicronique avec une précision maximale de recouvrement, de tangage, de focalisation et de linéarité. Il dispose également d'une machine optique réglable qui permet une optimisation précise de l'exposition et de la variabilité du foyer. L'outil dispose également d'une capacité de réseautage au niveau des grappes, qui permet l'accès à distance à l'état des actifs et aux données ainsi que le fonctionnement à distance et le contrôle de l'étape en cas de défaillance du modèle. En plus de cela, le stepper dispose de capacités de diagnostic intégrées qui permettent aux utilisateurs de diagnostiquer les composants du stepper, tels que les performances optiques et moteur, pour assurer un fonctionnement optimal. PAS 5500/400 est idéal pour une utilisation dans un environnement de production, offrant des résultats de haute précision, reproductibles et fiables qui peuvent être reproduits à maintes reprises. Ses fonctionnalités avancées et sa conception le rendent adapté à une variété d'applications et ses capacités d'interface et de réseautage conviviales en font un choix idéal.